科学技術と共に歩む

半導体微細加工技術を応用して作製されたMEMSセンサやアクチュエータ，もしくはそれらを組み込んだシステムはさまざまな分野で活用されている。例えば，高齢者医療，非侵襲・低侵襲医療や，健康社会，障害者に役立つ生活支援のためのデバイスと，そのデバイス開発に関わる要素技術への社会的関心は高まっている。医療分野を主とした分野で活用される体内埋め込み型デバイスや体表に装着し血圧や呼気などを常時センシングするバイタルセンシングデバイス，また，生体から採取した微量なタンパク質を高感度分析するためのデバイスなど，バイオ計測デバイスは多くの種類がある。例えば，近年著しく発展している研究分野としてバイオ分野でのタンパク質やDNA，そして細胞分析のために，新しい樹脂材料や生体材料に対しても半導体微細加工技術が応用され，かつ平面や立体構造への加工も必要とされている。また，リアルタイムバイタルサインセンシングのためのウェアラブルデバイスでは，伸縮性や柔軟性を持ち，かつ電極にもなりうる生体親和性の高い材料を用い，生体へ密着し装着することが求められている。しかし，多層電気配線を有する立体基板の作製や，立体基板上へのMEMSデバイスや電子部品の実装，新たな伸縮や柔軟の微細加工とMEMSデバイスとの実装など，技術的に開発途上であるものも多く，多くの技術課題を残している。

これらの課題解決や新たな応用分野での開拓を推進している研究は各研究技術分野で議論されてはいるが，微細加工技術やMEMSセンサなどのデバイス，バイタルセンシングデバイスなどで用いられる柔軟材料，そして化学分野で利用される樹脂や生体材料への微細加工技術は，それぞれの学問や学会などおのおので進められていると感じている。しかし，さまざまなデバイスを求められる分野で役立てていくには，今後はこれらの分野を融合した考え方や研究が求められる。

本書では，微細加工や材料を専門とする本邦の比較的若手でありながら，今後当該研究分野を担うであろう研究者の方々に執筆をお願いし，これらの分野の融合領域の最新研究について熱い想いでまとめて頂いた。材料の種類で章立てし，「材料」の持つ特異的な現象についての理論的「原理」，「プロセス」の基礎と最新の技術，そして紹介した材料を用いた「応用」の構成とした。そうすることで，これからMEMSを学ぶ研究者（導入）から，応用分野を求め新しい価値を創造する企業の研究者（アウトプット）まで，さまざまな立場のMEMS研究者の学びと応用につながり，役に立つ本として提供できればと願う。

当該出版にあたり，きっかけとなったのは電気学会センサ・マイクロマシン（E）部門・調査専門委員会「立体構造や柔軟材料への微細加工，実装技術に関する若手研究者を中心とした調査専門委員会」に参加頂けた若手研究者の融合から始まった。たまたま委員長であった松永が当該書籍の編集委員長を仰せつかったが，編集幹事の九州大学の小野寺武先生，東北大学の鶴岡典子先生，そして九州大学の津守不二夫先生，兵庫県立大学の山口明啓先生には多くのコメントと激励を頂いており，共同監修といっても過言ではない。

2022年8月
編集委員長　松永忠雄