目次

0.真空科学・技術の歴史
  • 0.1 真空と気体の科学
    • 0.1.1 真空と大気圧
    • 0.1.2 気体の状態方程式と分子の運動
    • 0.1.3 導管内の分子の運動とコンダクタンス(M. Knudsen とM. von Smoluchowski)
  • 0.2 真空ポンプ
    • 0.2.1 液柱ポンプの発明
    • 0.2.2 気体輸送式ポンプ——現代につながる真空技術の進歩(W. Gaede とI.Langmuir)——
    • 0.2.3 イオンポンプとゲッターポンプ
    • 0.2.4 クライオポンプ
  • 0.3 圧力の測定
    • 0.3.1 力学的測定
    • 0.3.2 気体の諸性質を利用する圧力測定
    • 0.3.3 電離真空計
    • 0.3.4 質量分析計
  • 0.4 真空科学・技術の現在と将来
1.真空の基礎科学
  • 1.1 希薄気体の分子運動
    • 1.1.1 気体の圧力
    • 1.1.2 空気
    • 1.1.3 気体の法則
    • 1.1.4 気体の状態方程式
    • 1.1.5 物質の三態
    • 1.1.6 気体の熱力学
    • 1.1.7 気体分子の速度分布
    • 1.1.8 真空科学で用いられる種々の物理量の統計平均
    • 1.1.9 平均自由行程
    • 1.1.10 入射頻度
  • 1.2 希薄気体の輸送現象
    • 1.2.1 粘性流と分子流
    • 1.2.2 圧力が高い領域での輸送現象
    • 1.2.3 圧力が低い領域での輸送現象(分子条件下での輸送過程)
    • 1.2.4 輸送現象における壁面の効果
  • 1.3 希薄気体の流体力学
    • 1.3.1 希薄気体を特徴付ける量
    • 1.3.2 壁面における分子散乱
    • 1.3.3 流量
    • 1.3.4 コンダクタンス
    • 1.3.5 コンダクタンスの合成
    • 1.3.6 粘性流領域でのコンダクタンス
    • 1.3.7 分子流領域でのコンダクタンス(1)——円形断面の導管の場合——
    • 1.3.8 分子流領域でのコンダクタンス(2)——任意の断面形状を持つ導管の場合——
    • 1.3.9 中間流領域でのコンダクタンス
  • 1.4 気体と固体表面
    • 1.4.1 真空科学の中の表面科学
    • 1.4.2 気体分子と表面の相互作用:吸着・散乱・拡散・脱離
    • 1.4.3 気体の吸着
    • 1.4.4 気体分子の散乱
    • 1.4.5 気体の拡散
    • 1.4.6 気体の熱脱離
    • 1.4.7 電子遷移誘起脱離
    • 1.4.8 気体の吸着と脱離
  • 1.5 固体表面・内部からの気体放出
    • 1.5.1 気体の固体内部への溶解
    • 1.5.2 気体の固体内部での拡散と透過
  • 1.6 関連資料
    • 1.6.1 マクスウェル速度分布に関する計算
    • 1.6.2 拡散方程式
    • 1.6.3 おもな気体の基本的な性質一覧
    • 1.6.4 熱的適応係数の測定値
2.真空用材料と構成部品
  • 2.1 真空容器材料
    • 2.1.1 ステンレス鋼
    • 2.1.2 アルミニウム合金
    • 2.1.3 チタンおよびチタン合金
    • 2.1.4 銅
  • 2.2 真空用部品材料と表面処理
    • 2.2.1 耐熱材料(ニッケル基合金)
    • 2.2.2 高温および低温用材料
    • 2.2.3 ガラス,セラミックス,グラファイト
    • 2.2.4 プラスチック,エラストマー
    • 2.2.5 表面処理技術
  • 2.3 接合技術・材料
    • 2.3.1 金属と金属の接合
    • 2.3.2 金属とガラスの接合
    • 2.3.3 金属とセラミックスの接合
    • 2.3.4 接着剤
  • 2.4 真空封止
    • 2.4.1 エラストマーシールフランジ
    • 2.4.2 メタルシールフランジ
    • 2.4.3 メタルO リング
    • 2.4.4 バルブ
    • 2.4.5 真空バルブの構造
    • 2.4.6 各種真空バルブ
  • 2.5 真空用潤滑材料
    • 2.5.1 真空中での摩擦
    • 2.5.2 液体潤滑剤
    • 2.5.3 固体潤滑剤
    • 2.5.4 ガス放出
  • 2.6 運動操作導入
    • 2.6.1 真空中への運動の伝達
    • 2.6.2 直線導入
    • 2.6.3 回転導入
    • 2.6.4 モーター駆動
  • 2.7 電気信号導入
    • 2.7.1 電流導入
    • 2.7.2 熱電対,光ファイバー導入
    • 2.7.3 高電圧導入
    • 2.7.4 高周波導入
  • 2.8 洗浄
    • 2.8.1 汚れの種類と洗浄法
    • 2.8.2 機械的な除去
    • 2.8.3 湿式洗浄
    • 2.8.4 乾式洗浄
    • 2.8.5 洗浄の評価方法
    • 2.8.6 洗浄後の保管
    • 2.8.7 総合的な洗浄方法の検討例
    • 2.8.8 関連資料
  • 2.9 ガス放出データ
    • 2.9.1 熱脱離によるガス放出
    • 2.9.2 ガス放出速度データの参考文献
    • 2.9.3 透過と拡散
    • 2.9.4 蒸気圧
    • 2.9.5 ポンプからのガス放出
    • 2.9.6 熱脱離以外のガス放出
3.真空の作成
  • 3.1 真空の作成手順
    • 3.1.1 到達圧力と常用圧力
    • 3.1.2 真空装置の構成
    • 3.1.3 真空ポンプの選択
    • 3.1.4 真空容器の設計
    • 3.1.5 真空排気システム
    • 3.1.6 リーク検査
  • 3.2 真空ポンプ
    • 3.2.1 真空ポンプの使用圧力範囲
    • 3.2.2 油回転ポンプ
    • 3.2.3 ルーツポンプ
    • 3.2.4 ドライポンプ
    • 3.2.5 拡散ポンプ
    • 3.2.6 ターボ分子ポンプ
    • 3.2.7 クライオポンプ
    • 3.2.8 ゲッターポンプ
    • 3.2.9 スパッタイオンポンプ
    • 3.2.10 ソープションポンプ
  • 3.3 排気プロセス
    • 3.3.1 排気の方程式
    • 3.3.2 粘性流領域の排気
    • 3.3.3 分子流領域の排気
  • 3.4 排気速度とコンダクタンス
    • 3.4.1 実効排気速度とコンダクタンス
    • 3.4.2 粘性流領域のコンダクタンス
    • 3.4.3 分子流領域のコンダクタンス
    • 3.4.4 中間流領域のコンダクタンス
  • 3.5 リーク検査
    • 3.5.1 リークのメカニズム
    • 3.5.2 リーク量の単位
    • 3.5.3 許容リーク量
    • 3.5.4 ヘリウムリークディテクターの原理と校正
    • 3.5.5 各種リーク検出方法
    • 3.5.6 リーク検出の実際
4.真空計測
  • 4.1 全圧真空計
    • 4.1.1 U 字管真空計
    • 4.1.2 マクラウド真空計
    • 4.1.3 ブルドン管真空計
    • 4.1.4 隔膜真空計
    • 4.1.5 熱伝導真空計
    • 4.1.6 粘性真空計
    • 4.1.7 電離真空計
  • 4.2 質量分析計,分圧真空計
    • 4.2.1 四極子形質量分析計
    • 4.2.2 RGA の実際と問題点
    • 4.2.3 磁場偏向型質量分析計
    • 4.2.4 飛行時間型質量分析計
    • 4.2.5 その他の質量分析計
  • 4.3 流量計,圧力制御
    • 4.3.1 はじめに
    • 4.3.2 マスフローコントローラー
    • 4.3.3 形状の決まった孔を用いる方法
    • 4.3.4 透過リーク
    • 4.3.5 膜式流量計(せっけん膜流量計)
    • 4.3.6 面積流量計(フロート流量計)
  • 4.4 真空計測の誤差の要因と対策
    • 4.4.1 気体の種類による感度の違い
    • 4.4.2 真空系に起因する誤差
    • 4.4.3 真空計に起因する誤差
  • 4.5 真空計を用いた気体流量の計測システム
    • 4.5.1 はじめに
    • 4.5.2 基礎
    • 4.5.3 真空試験のための計測システム
    • 4.5.4 昇温脱離分析法
    • 4.5.5 ガス透過測定
  • 4.6 校正と標準
    • 4.6.1 はじめに
    • 4.6.2 圧力真空標準
    • 4.6.3 国際単位系(SI)
    • 4.6.4 比較校正法
    • 4.6.5 真空計測における不確かさとトレーサビリティについて
5.真空システム
  • 5.1 実験研究用超高真空装置
    • 5.1.1 超高真空の基礎
    • 5.1.2 超高真空用材料と超高真空装置構成部品
    • 5.1.3 実験用超高真空装置の製作
    • 5.1.4 試料作製機構の具体例
    • 5.1.5 超高真空実験の安全対策
  • 5.2 大型真空装置
    • 5.2.1 はじめに
    • 5.2.2 粒子加速器
    • 5.2.3 スペースチャンバー
    • 5.2.4 核融合装置
    • 5.2.5 重力波検出器
  • 5.3 産業用各種生産装置
    • 5.3.1 概要
    • 5.3.2 真空の五つの性質
    • 5.3.3 差圧を利用する
    • 5.3.4 断熱を利用する
    • 5.3.5 蒸発を利用する
    • 5.3.6 無酸素環境を利用する
    • 5.3.7 放電を利用する
    • 5.3.8 応用最前線
6.真空の応用
  • 6.1 薄膜作製
    • 6.1.1 はじめに
    • 6.1.2 薄膜作製法の概要
    • 6.1.3 成膜の素過程
    • 6.1.4 実際の成膜例
    • 6.1.5 まとめ
  • 6.2 プラズマプロセス
    • 6.2.1 低中真空領域でのプラズマプロセス
    • 6.2.2 低中真空領域プラズマを用いた超微細加工~プラズマエッチング
    • 6.2.3 微細加工プラズマプロセスの今後の展望
  • 6.3 表面分析
    • 6.3.1 真空中の試料表面
    • 6.3.2 真空中の電子の飛行距離
    • 6.3.3 電子と固体の相互作用を利用した表面分析
    • 6.3.4 X線と固体の相互作用を利用した表面分析
    • 6.3.5 イオンと固体の相互作用を利用した表面分析

真空科学ハンドブック

  • 日本真空学会 編
  • B5判/590頁 本体20,000円+税

収録キーワード一覧

  • アイソレイトバルブ2章2.4節
  • アイソレーションバルブ5章5.1節
  • アクリロニトリルブタジエンゴム2章2.4節
  • 圧縮仕事3章3.2節
  • 圧力1章1.1節
  • 圧力真空標準4章4.6節
  • 圧力天びん4章4.6節
  • 圧力–流量線図3章3.1節
  • 油回転ポンプ0章0.2節/3章3.2節
  • 油回転ポンプの排気性能3章3.2節
  • 油拡散ポンプ3章3.2節
  • 油拡散ポンプの排気速度3章3.2節
  • 油拡散ポンプ作動油3章3.2節
  • アボガドロ定数1章1.1節
  • アボガドロの法則1章1.1節
  • アモントン・クーロン則2章2.5節
  • 粗引きバルブ2章2.4節
  • アルカリ洗浄2章2.8節
  • アルゴンアーク溶接2章2.3節
  • アルフォイルフランジ2章2.4節
  • アルミエッジシール2章2.4節
  • アルミニウム合金2章2.1節/5章5.1節
  • アルミニウム合金のガス放出速度2章2.9節/5章5.1節
  • アングルバルブ2章2.4節
  • イオン化スパッタリング6章6.1節
  • イオン化断面積4章4.1節
  • イオン化ポテンシャル1章1.4節
  • イオン源5章5.2節
  • イオン検出器4章4.2節
  • イオンコレクター4章4.1節
  • イオン対反発機構1章1.4節
  • イオントラッピング5章5.2節
  • イオン不安定性5章5.2節
  • イオンフラックス6章6.2節
  • イオン分光型真空計4章4.1節
  • イオンポンプ0章2節
  • イオン密度6章6.2節
  • 異方性エッチング6章6.2節
  • 医療用粒子加速器5章5.3節
  • インレットバルブ2章2.4節
  • ウォーターサイクル現象0章0.2節
  • 運動量適応係数1章1.2節
  • 運動量流束1章1.2節
  • 永久圧縮ひずみ2章2.4節
  • 液化ガスタンク5章5.3節
  • エキシトン1章1.4節
  • エキストラクター真空計4章4.1節
  • 液体潤滑剤2章2.5節
  • 液体窒素トラップ3章3.2節
  • 液柱ポンプ0章0.2節
  • 液封ポンプ3章3.2節
  • エジェクターポンプ3章3.2節
  • エージング加熱3章3.2節
  • エッジ6章6.3節
  • エッチング2章2.8節
  • エッチングで利用されるガス6章6.2節
  • エネルギー損失関数6章6.3節
  • エネルギー適応係数1章1.4節
  • エネルギー流束1章1.2節
  • エバルト球6章6.3節
  • エラストマー2章2.4節
  • エラストマーの気体透過率2章2.9節
  • エラストマーの気体透過量2章2.4節
  • エラストマーの気体放出速度2章2.4節
  • エラストマーの耐熱温度2章2.4節
  • エラストマーシールフランジ2章2.4節
  • 沿面放電2章2.7節/5章5.2節
  • オイルバック3章3.2節
  • オイルミスト3章3.2節
  • オイルミストトラップ5章5.1節
  • オイルレス化0章0.2節
  • 大型真空装置5章5.2節
  • 大型ヘリカル装置5章5.2節
  • オージェ電子分光法6章6.3節
  • オーステナイト系ステンレス鋼2章2.1節
  • オゾン水2章2.8節
  • オービトロンゲージ4章4.1節
  • オメガトロン4章4.2節
  • オリフィス4章4.3節
  • オリフィスのコンダクタンス1章1.3節
  • オリフィス法4章4.6節
  • オールメタルバルブ2章2.4節
  • 温度飛躍1章1.3節
  • 温度飛躍距離1章1.2節
  • 加圧積分法3章3.5節
  • ガイスラー管5章5.3節
  • 回転直線導入機2章2.6節
  • 回転導入機2章2.6節
  • 回転翼型3章3.2節
  • 解離吸着1章1.4節
  • 改良ソルベーサイクル3章3.2節
  • 化学吸着1章1.4節
  • 化学研磨2章2.8節
  • 化学的気相堆積法6章6.1節
  • 拡散過程1章1.3節
  • 拡散距離1章1.6節
  • 拡散係数1章1.4節/4章4.5節
  • 拡散長1章1.6節
  • 拡散的な輸送6章6.1節
  • 拡散反射1章1.3節
  • 拡散放出1章1.5節
  • 拡散方程式1章1.6節
  • 拡散ポンプ0章0.2節/3章3.1節/3章3.2節
  • 拡散流束1章1.2節/1章1.6節
  • 核生成成長6章6.1節
  • 拡張不確かさ4章4.6節
  • 角度分解法6章6.3節
  • 隔膜真空計4章4.1節
  • 核融合装置5章5.2節
  • 加工形状異常6章6.2節
  • ガス透過度4章4.5節
  • ガスバラスト方式3章3.2節
  • ガス放出曲線3章3.3節
  • ガス放出速度1章1.5節/2章2.9節
  • ガス放出データ2章2.9節
  • ガスリークバルブ2章2.4節
  • 活性化エネルギーの分布3章3.3節
  • 活性化障壁1章1.4節
  • 活性金属法2章2.3節
  • 価電子準位6章6.3節
  • 加熱洗浄2章2.8節
  • 加熱脱ガス1章1.5節
  • カーボンペースト2章2.3節
  • ガラスおよび金属の熱膨張率2章2.3節
  • ガラスのヘリウム透過率2章2.9節
  • 乾式洗浄2章2.8節
  • 乾式ブラスト2章2.8節
  • 管内平均自由行程1章1.3節
  • 機械式小型冷凍機3章3.2節
  • 機械的な(汚れの)除去2章2.8節
  • 気化熱3章3.3節
  • キスリュックモデル1章1.4節
  • 気体の状態方程式1章1.1節
  • 気体の透過1章1.5節
  • 気体分子によるレーザー光の散乱5章5.2節
  • 気体輸送式ポンプ0章0.2節
  • 気体流量の計測4章4.5節
  • キニー型3章3.2節
  • ギフォード・マクマホーンサイクル3章3.2節
  • 逆格子ロッド6章6.3節
  • 逆マグネトロン型真空計4章4.1節
  • キャピラリー4章4.3節
  • キャプチャリングシール機構2章2.4節
  • 吸引搬送5章5.3節
  • 吸収電流6章6.3節
  • 吸着1章1.4節
  • 吸着エネルギー1章1.4節
  • 吸着確率1章1.4節
  • 吸着子1章1.4節
  • 吸着質1章1.4節
  • 吸着等圧線1章1.4節
  • 吸着等温線1章1.4節
  • 吸着等量線1章1.4節
  • 吸着熱測定1章1.4節
  • 吸着媒1章1.4節
  • 吸着パッド5章5.3節
  • 吸着平衡1章1.4節
  • 吸着ポテンシャル1章1.4節
  • 凝縮1章1.4節
  • 共振インピーダンス4章4.1節
  • 鏡面反射1章1.3節
  • 極高真空5章5.1節
  • 凝縮性気体の排気3章3.2節
  • 許容排気口圧力3章3.2節
  • 許容リーク量3章3.5節
  • 金線ガスケット2章2.4節
  • 食込み式継手2章2.4節
  • 空間通過時定数3章3.3節
  • 空気の成分1章1.1節
  • 空気力学動力5章5.3節
  • クヌーセン数1章1.2節/1章1.3節/6章6.2節
  • クヌーセンセル6章6.1節
  • クヌーセン層1章1.2節
  • クヌーセン流1章1.2節
  • クライオトラップ3章3.2節
  • クライオポンプ0章0.2節/3章3.1節/3章3.2節
  • クライオポンプの再生3章3.2節
  • クライオポンプの最大流量3章3.2節
  • クライオポンプの到達圧力3章3.2節
  • クライオポンプの排気速度3章3.2節
  • クライオポンプの排気容量1章1.3節/3章3.2節
  • クラウジング係数3章3.4節
  • グラスビーズブラスト処理2章2.8節
  • クラッキングパターン4章4.2節
  • クランプ型継手2章2.4節
  • クランプ締めフランジ2章2.4節
  • グレアムの法則1章1.1節
  • クロー型ドライポンプ3章3.2節
  • クローポンプ3章3.2節
  • クロロプレンゴム2章2.4節
  • 蛍光灯5章5.3節
  • ゲイ=リュサックの法則1章1.1節
  • ゲージ圧5章5.3節
  • 結合解離エネルギー1章1.4節
  • 結合性軌道1章1.4節
  • ゲッターポンプ0章0.2節/3章3.2節
  • ゲーデ型3章3.2節
  • ゲートバルブ2章2.4節
  • 減圧蒸留5章5.3節
  • 限界座屈圧力3章3.1節
  • 嫌気性培養器5章5.3節
  • 研磨材2章2.8節
  • 高エネルギーイオン散乱分光法6章6.3節
  • 高輝度放電ランプ5章5.3節
  • 公共座標系5章5.2節
  • 交差圧力3章3.2節
  • 高周波導入2章2.7節
  • 高周波窓2章2.7節
  • 校正リーク3章3.5節
  • 剛体球モデル1章1.1節
  • 高電圧導入2章2.7節
  • 光波干渉式標準圧力(気圧)計4章4.1節/4章4.6節
  • 後方散乱因子6章6.3節
  • 高融点金属粉法2章2.3節
  • 小型RGA4章4.2節
  • 国際単位系1章1.1節
  • 国際地球基準座標系5章5.2節
  • 誤差4章4.6節
  • 固体潤滑剤2章2.5節
  • 固体内部からの拡散3章3.3節
  • 黒化処理5章5.2節
  • コーナーシール2章2.4節
  • コバール封着2章2.3節
  • コールドトラップ3章3.2節
  • コールドリーク5章5.2節
  • コンダクタンス0章0.1節/1章1.3節
  • コンダクタンスの合成1章1.3節
  • コンダクタンス(中間流領域)3章3.4節
  • コンダクタンス(粘性流領域)3章3.4節
  • コンダクタンス(分子流領域)3章3.4節
  • コンダクタンス変調法4章4.1節/4章4.5節
  • コンダクタンスリーク4章4.3節
  • コンフラットフランジ2章2.4節
  • コンプレッションシール2章2.3節
  • 最確速度1章1.1節
  • 最高被占軌道1章1.4節
  • 最小可検リーク量3章3.5節
  • 最大許容交差圧力3章3.2節
  • 最低空軌道1章1.4節
  • サイドチャネル型ドライポンプ3章3.2節
  • サイドチャネルポンプ3章3.2節
  • サイフォン問題0章0.1節
  • 座屈3章3.1節
  • サザーランド定数1章1.2節
  • サザーランドの式1章1.2節
  • サテライトピーク6章6.3節
  • 差動排気型回転導入機2章2.6節
  • 差動排気型クライオポンプ3章3.2節
  • サーマルバキュームチャンバー5章5.2節
  • サーミスター真空計4章4.1節
  • サーモカップル真空計4章4.1節
  • 三極形スパッタイオンポンプ3章3.2節
  • 三極管形電離真空計4章4.1節
  • 三極管真空計0章0.3節
  • 算術平均速度1章1.1節
  • 参照標準真空計4章4.1節
  • 酸洗浄2章2.8節
  • 酸素濃縮機5章5.3節
  • 三方ボールバルブ2章2.4節
  • 残留ガス分析計4章4.2節
  • シェークアップ6章6.3節
  • シェークオフ6章6.3節
  • 磁気共鳴画像診断装置5章5.3節
  • 磁気結合2章2.6節
  • 磁気結合方式2章2.6節
  • 磁気軸受型ターボ分子ポンプ3章3.2節
  • 仕切り弁2章2.4節
  • 軸シール2章2.4節
  • 軸対称透過型電離真空計4章4.1節
  • 試験到達圧力3章3.2節
  • 自己拡散1章1.2節
  • 自己拡散係数1章1.2節
  • シース6章6.2節
  • 磁性流体シール2章2.6節
  • 実効排気速度3章3.4節
  • 実効容積3章3.3節
  • 湿式洗浄2章2.8節
  • 湿式ブラスト2章2.8節
  • 実表面積1章1.4節
  • 質量分解能4章4.2節
  • 質量分析計0章0.3節/4章4.2節
  • 質量流量1章1.3節
  • 磁場印加型プラズマ6章6.2節
  • 磁場偏向型質量分析計4章4.2節
  • 磁場偏向型分析管3章3.5節
  • シーベルトの法則1章1.5節
  • 締付けトルク3章3.1節
  • シャーリー法6章6.3節
  • 射影効果6章6.1節
  • シャルルの法則1章1.1節
  • 集電子電極4章4.1節
  • 自由度1章1.2節
  • 自由分子熱伝導率1章1.2節/4章4.1節
  • 自由分子粘性係数1章1.2節
  • 重力波検出器5章5.2節
  • 受動型磁気軸受3章3.2節
  • シュミット数1章1.2節
  • 純水洗浄2章2.8節
  • 昇温脱離スペクトル1章1.4節
  • 昇温脱離(分析)法1章1.4節/4章4.5節
  • 抄紙機5章5.3節
  • 状態図1章1.1節
  • 状態方程式0章0.1節
  • 衝突カスケード6章6.1節
  • 衝突径数1章1.1節
  • 蒸発源6章6.1節
  • 蒸発速度6章6.1節
  • 常用圧力3章3.1節
  • 初期吸着エネルギー1章1.4節
  • 初期吸着確率(係数)1章1.4節
  • 助走距離1章1.3節
  • シリコーンゴム2章2.4節
  • シール2章2.4節
  • シール過程3章3.1節
  • シール線荷重3章3.1節
  • 真空外覆(フード)法3章3.5節
  • 真空管0章0.2節
  • 真空含浸5章5.3節
  • 真空乾燥5章5.3節
  • 真空グリースの蒸気圧2章2.9節
  • 真空減圧包装5章5.3節
  • 真空コンクリート5章5.3節
  • 真空シール技術2章2.3節
  • 真空射出成型5章5.3節
  • 真空蒸着5章5.3節
  • 真空食品冷却機5章5.3節
  • 真空成形5章5.3節
  • 真空掃除機5章5.3節
  • 真空装置の構成3章3.1節
  • 真空装置用フランジ2章2.4節
  • 真空脱ガス5章5.3節
  • 真空断熱5章5.3節
  • 真空断熱パネル5章5.3節
  • 真空注型5章5.3節
  • 真空凍結乾燥5章5.3節
  • 真空の作成3章3.1節
  • 真空排気システム3章3.1節
  • 真空封止2章2.4節
  • 真空吹付け(スプレー)法3章3.5節
  • 真空粉末断熱5章5.3節
  • 真空包装5章5.3節
  • 真空ポンプ0章0.2節/3章3.2節
  • 真空ポンプの使用圧力範囲3章3.2節
  • 真空ポンプの選択3章3.1節
  • 真空ポンプ油3章3.2節
  • 真空ポンプ油の逆拡散3章3.2節
  • 真空容器の設計3章3.1節
  • 真空容器(ベルジャー)法3章3.5節
  • 真空予冷5章5.3節
  • 真空ろう付け2章2.3節/5章5.3節
  • 真空ロボット3章3.1節
  • 浸せき(ボンビング)法3章3.5節
  • 振動エネルギー遷移機構1章1.4節
  • 水銀回転ポンプ0章0.2節
  • 水銀柱気圧計0章0.1節
  • 吸込み仕事率5章5.3節
  • 吸込み(スニッファー)法3章3.5節
  • 水蒸気透過度4章4.5節
  • 水晶摩擦真空計4章4.1節
  • 水素結合1章1.4節
  • 水素透過1章1.5節
  • 水素透過率1章1.5節/2章2.9節
  • 水素の拡散放出1章1.5節
  • 水素溶解度1章1.5節
  • 水分吸収率1章1.5節
  • スクリュー型ドライポンプ3章3.2節
  • スクリューポンプ3章3.2節
  • スクロールポンプ3章3.2節/5章5.2節
  • スタティックSIMS6章6.3節
  • ステッピングモーター2章2.6節
  • ステンレス鋼2章2.1節
  • ステンレス鋼のガス放出率2章2.9節
  • ストライベック曲線2章2.5節
  • スパッタイオンポンプ3章3.1節/3章3.2節/5章5.2節
  • スパッタイオンポンプの排気速度3章3.2節
  • スパッタ原子のエネルギー6章6.1節
  • スパッタ粒子の放出角度分布6章6.1節
  • スパッタリング5章5.3節
  • スパッタリング法6章6.1節
  • スピニングローター真空計4章4.1節
  • スプレンゲルポンプ0章0.2節
  • スペースシミュレーター5章5.2節
  • スペースチャンバー5章5.2節
  • 滑り速度1章1.2節
  • 滑り流1章1.2節
  • 滑り流領域1章1.3節
  • スループット法4章4.5節
  • スローリーク5章5.2節
  • 成形ベローズ2章2.6節
  • 整合相1章1.4節
  • 静電容量式隔膜真空計4章4.1節
  • 成膜速度6章6.1節
  • 積分型透過曲線4章4.5節
  • 絶縁破壊5章5.2節
  • 絶縁ワニス2章2.3節
  • せっけん膜流量計4章4.3節
  • 接線運動量適応係数1章1.4節
  • 絶対圧5章5.3節
  • 絶対脱離収率1章1.4節
  • セラミックス封着2章2.3節
  • 全圧真空計4章4.1節
  • 遷移流1章1.2節
  • 洗浄用薬剤2章2.8節
  • 洗浄水温度2章2.8節
  • 選択吸着1章1.4節
  • 選択比6章6.2節
  • 全脱離断面積1章1.4節
  • 全反射蛍光X線分析法6章6.3節
  • 双極子モーメント1章1.4節
  • 相互拡散1章1.2節
  • 相互拡散係数1章1.2節
  • 走査電子顕微鏡5章5.3節/6章6.3節
  • 相対感度係数6章6.3節
  • 層流1章1.3節
  • 層流のコンダクタンス1章1.3節
  • 層流管4章4.3節
  • 測地座標系5章5.2節
  • 測定子からの気体放出4章4.4節
  • 測定子の排気速度4章4.4節
  • 速度滑り1章1.3節
  • 速度定数1章1.4節
  • 阻止能6章6.3節
  • その他の材料のガス放出速度2章2.9節
  • 粗排気過程3章3.1節
  • 粗排気の時間3章3.1節
  • ソープションポンプ3章3.2節
  • ソーラーシミュレーター5章5.2節
  • ゾーンモデル6章6.1節
  • 大気圧1章1.1節
  • 大気圧ベントシステム5章5.1節
  • 大気中気体の透過率1章1.5節
  • 体積入射頻度1章1.1節
  • 体積流量1章1.3節
  • 帯電5章5.2節
  • 大電力パルススパッタリング6章6.1節
  • ダイナミックSIMS6章6.3節
  • ダイバーター5章5.2節
  • 耐薬品性2章2.4節
  • ダイヤフラム型ポンプ3章3.2節
  • ダイヤフラムバルブ2章2.4節
  • ダイヤフラムポンプ0章0.2節/3章3.2節
  • ダイヤモンドライクカーボン2章2.5節/5章5.3節
  • 耐油性2章2.4節
  • 太陽電池用ラミネーター5章5.3節
  • 高石・泉水による経験式(Takaishi-Sensuiの式)4章4.1節/4章4.4節
  • 多孔質体4章4.3節
  • 多層吸着1章1.4節
  • 多層断熱5章5.3節
  • 多段ルーツポンプ3章3.2節
  • タッチダウンベアリング3章3.2節
  • 脱調2章2.6節
  • 脱離断面積1章1.4節
  • 脱離の活性化エネルギー4章4.5節/5章5.1節
  • 脱離頻度1章1.4節
  • 脱離方向分布1章1.4節
  • タービン翼部3章3.2節
  • ターボ型ドライポンプ3章3.2節
  • ターボ真空ポンプ3章3.2節
  • ターボ分子ポンプ0章0.2節/3章3.1節/3章3.2節/5章5.2節
  • ターボ分子ポンプの圧縮比3章3.2節
  • ターボ分子ポンプの安全性3章3.2節
  • ターボ分子ポンプの排気速度3章3.2節
  • ターボ分子ポンプの流量特性3章3.2節
  • ターボ分子ポンプの臨界背圧3章3.2節
  • 玉軸受型ターボ分子ポンプ3章3.2節
  • ダルシー・ワイスバッハ方程式1章1.3節
  • ダルトンの法則1章1.1節
  • 単純クエット流1章1.2節
  • 単純せん断流1章1.2節
  • 弾道的な輸送6章6.1節
  • 断熱真空ガラス5章5.3節
  • 断熱流れ1章1.3節
  • 単分子層1章1.4節
  • 単分子層形成時間1章1.1節/5章5.1節
  • 置換吸着3章3.2節
  • 蓄積法4章4.5節
  • 地図座標系5章5.2節
  • チタンゲッター面の付着確率3章3.2節
  • チタン合金2章2.1節
  • チタンサブリメーションポンプ3章3.2節
  • チタンサブリメーションポンプの排気速度3章3.2節
  • チタンサブリメーションポンプのメモリ効果3章3.2節
  • チタンのガス放出速度2章2.9節
  • 窒素換算値4章4.1節/4章4.4節
  • 中間流1章1.2節/1章1.3節
  • 中間流領域でのコンダクタンス1章1.3節
  • 中空メタルOリング2章2.4節
  • 超高真空1章1.1節/5章5.1節
  • 超高真空内用金属材料5章5.1節
  • 超高真空内用非金属材料5章5.1節
  • 超高真空容器用ステンレス鋼5章5.1節
  • 超高真空用材料5章5.1節
  • 超高真空領域用真空計5章5.1節
  • 超高真空領域用真空ポンプ5章5.1節
  • 超微細加工6章6.2節
  • 跳躍拡散1章1.4節
  • 超臨界二酸化炭素2章2.8節
  • チョーク流れ1章1.3節
  • 直線導入機2章2.6節
  • 通過確率1章1.3節
  • 通電加熱型蒸発源3章3.2節
  • ツガード法6章6.3節
  • 定圧比熱1章1.1節
  • 定圧流量計4章4.6節
  • 低合金チタン5章5.1節
  • 定積比熱1章1.1節
  • 低速電子線回折法6章6.3節
  • 定容流量計4章4.6節
  • 適応係数1章1.4節
  • デバイ長6章6.2節
  • テーパーシール型ガスケット2章2.4節
  • テムキン(吸着)式1章1.4節/3章3.3節
  • テレフンケン法2章2.3節
  • 電解研磨2章2.8節
  • 電解複合研磨2章2.8節/5章5.2節
  • 電気双極子1章1.4節
  • 電気的ダメージ6章6.2節
  • 電気四極子1章1.4節
  • 電子雲不安定性5章5.2節
  • 電子温度6章6.2節
  • 電子サイクロトロン共鳴型6章6.2節
  • 電子銃5章5.2節
  • 電子衝撃脱離1章1.4節/3章3.3節
  • 電子親和力1章1.4節
  • 電子遷移誘起脱離1章1.4節
  • 電子ビーム蒸発源6章6.1節
  • 電子ビーム真空溶解炉5章5.3節
  • 電子ビーム部分改質加工2章2.4節
  • 電子ビーム溶接2章2.3節
  • 電子プローブマイクロアナリシス6章6.3節
  • 電子密度6章6.2節
  • 電子誘起脱離1章1.4節
  • 電子・陽子不安定性5章5.2節
  • 電子励起脱離1章1.4節/2章2.9節/4章4.1節/4章4.2節/4章4.4節
  • 電離真空計0章0.3節/4章4.1節
  • 電離真空計の感度係数4章4.1節
  • 電離真空計の比感度4章4.1節
  • 電流導入端子2章2.7節
  • 透過型ヘリウム標準リーク4章4.3節
  • 透過係数4章4.5節
  • 透過電子顕微鏡5章5.3節
  • 透過リーク4章4.3節
  • 透過流束4章4.5節
  • 導管の直接接続1章1.3節
  • 同軸円筒内の気体の熱伝導1章1.2節
  • 到達圧力3章3.1節/3章3.2節
  • 動粘性係数1章1.3節
  • 銅のガス放出速度2章2.9節
  • 導波管2章2.7節
  • トカマク方式5章5.2節
  • 特殊なガスを用いたリーク検査3章3.1節
  • 特性X線6章6.3節
  • ドータイト2章2.3節
  • 止め弁2章2.4節
  • ドライエッチング5章5.3節
  • ドライベーンポンプ3章3.2節
  • ドライポンプ3章3.2節
  • トリチェリの真空0章0.1節
  • トールシール2章2.3節
  • トレーサビリティ4章4.6節
  • トロコイド(サイクロイド)形質量分析計4章4.2節
  • トンプソンの式6章6.1節
  • 内殻準位6章6.3節
  • ナイフエッジ型メタルシールフランジ2章2.4節
  • 斜め蒸着膜6章6.1節
  • ナビエ・ストークス方程式1章1.3節
  • 軟X線効果4章4.1節/4章4.4節
  • 二極形スパッタイオンポンプ3章3.2節
  • 二次イオン質量分析法6章6.3節
  • 二次元凝縮1章1.4節
  • 二次元分子系1章1.4節
  • 二次電子6章6.3節
  • ニッケル基合金2章2.2節
  • 入射頻度1章1.1節
  • ニュートンの粘性法則1章1.2節
  • ニュートン流体1章1.2節
  • ニューマチックアンローダー5章5.3節
  • 入力カプラー2章2.7節
  • 二流路法4章4.5節
  • 濡れ1章1.4節
  • ネオンサイン5章5.3節
  • ねじ溝部3章3.2節
  • ねじれ吸収ベローズ2章2.6節
  • 熱陰極4章4.1節
  • 熱陰極型イオン源4章4.2節
  • 熱陰極電離真空計4章4.1節
  • 熱化6章6.1節
  • 熱化距離6章6.1節
  • 熱拡散1章1.2節
  • 熱拡散係数1章1.2節
  • 熱拡散定数1章1.2節
  • 熱真空環境5章5.2節
  • 熱遷移1章1.1節/4章4.1節/4章4.4節
  • 熱脱離1章1.4節
  • 熱脱離によるガス放出2章2.9節
  • 熱脱離分光1章1.4節
  • 熱脱離法1章1.4節
  • 熱的適応係数1章1.2節/1章1.4節/1章1.6節
  • 熱電対2章2.7節
  • 熱電対導入端子2章2.7節
  • 熱伝導真空計4章4.1節
  • 熱伝導率の温度依存性1章1.2節
  • 熱平均速度1章1.1節
  • 熱流1章1.2節
  • 粘性1章1.2節
  • 粘性に基づく分子直径1章1.2節
  • 粘性の衝突断面積1章1.2節
  • 粘性係数1章1.2節/3章3.5節
  • 粘性係数の温度依存性1章1.2節
  • 粘性真空計4章4.1節
  • 粘性率1章1.2節
  • 粘性流1章1.2節/1章1.3節
  • 粘性流領域でのコンダクタンス1章1.3節
  • 粘度1章1.2節
  • 排気の時定数3章3.1節
  • 排気の方程式3章3.1節/3章3.3節
  • 排気曲線3章3.1節/3章3.3節/5章5.1節
  • 排気速度1章1.3節
  • 排気抵抗1章1.3節
  • 排気プロセス3章3.3節
  • 排気量1章1.3節
  • ハイブリッド型ターボ分子ポンプ3章3.2節
  • 背面散乱係数6章6.3節
  • ハウスキーパーシール2章2.3節
  • ハーゲン・ポアズイユ流れ1章1.3節
  • バタフライバルブ2章2.4節
  • パッキン2章2.6節
  • バックグラウンド6章6.3節
  • バックシール2章2.3節
  • 発光ダイオード5章5.3節
  • バッフル3章3.2節
  • ばね入りメタルCリング2章2.4節
  • パーフルオロエラストマー2章2.4節
  • バリアブルリークバルブ2章2.4節
  • パルスモーター2章2.6節
  • 反結合性軌道1章1.4節
  • 反射高速電子線回折法6章6.3節
  • 反射電子6章6.3節
  • 反射膜コーティング5章5.3節
  • 搬送ロボット5章5.3節
  • 反跳打込み6章6.1節
  • 反応性イオンエッチング6章6.2節
  • ピエゾ抵抗式半導体圧力センサー4章4.1節
  • 比較校正4章4.6節
  • 光刺激脱離5章5.2節
  • 光刺激脱離係数5章5.2節
  • 光衝撃脱離3章3.3節
  • 光照射ダメージ6章6.2節
  • 光脱離1章1.4節
  • 光ファイバー導入端子2章2.7節
  • 光励起脱離1章1.4節/2章2.9節
  • 比感度係数4章4.4節
  • 飛行時間型質量分析計4章4.2節
  • 非蒸発(型)ゲッターポンプ3章3.2節/5章5.1節
  • ピストン(型真空)ポンプ3章3.2節
  • 非弾性平均自由行程6章6.3節
  • 被覆率1章1.4節
  • 微分型透過曲線4章4.5節
  • ビームの寿命5章5.2節
  • ビーム不安定性5章5.2節
  • 標準器4章4.6節
  • 標準コンダクタンスエレメント4章4.3節
  • 標準状態1章1.1節
  • 標準リーク3章3.5節
  • 表面粗さ2章2.5節
  • 表面拡散1章1.4節
  • 表面積測定1章1.4節
  • 表面波励起型プラズマ6章6.2節
  • 秤量法4章4.5節
  • ピラニ真空計4章4.1節
  • ビルドアップ法3章3.1節
  • ビルトインイオンポンプ3章3.2節
  • ファンデルワールス(状態)方程式1章1.1節/1章1.4節
  • ファンデルワールス相互作用1章1.1節
  • ファンデルワールス力1章1.4節
  • フィックの第一法則1章1.2節/1章1.5節
  • フィックの第二法則1章1.5節
  • フォアライントラップ3章3.2節/5章5.1節
  • 不均質表面1章1.4節
  • 複合型ターボ分子ポンプ3章3.2節
  • 副標準真空計4章4.1節
  • 副標準電離真空計4章4.1節
  • 不整合相1章1.4節
  • 不確かさ4章4.6節
  • 付着1章1.4節
  • 付着原子1個当りのエネルギー6章6.1節
  • フッ素ゴム2章2.4節
  • フッ素樹脂2章2.2節
  • 物理吸着1章1.4節
  • 物理的気相成長5章5.3節
  • 物理的気相堆積法6章6.1節
  • 物理的ダメージ6章6.2節
  • 物理リーク4章4.3節
  • 浮遊電位6章6.2節
  • フラグメントイオン4章4.2節
  • プラスチックの気体透過率2章2.9節
  • ブラスト処理2章2.8節
  • プラズマエッチング6章6.2節
  • プラズマエッチング処理3章3.1節
  • プラズマシース6章6.2節
  • プラズマ周波数6章6.2節
  • プラズマ処理装置3章3.1節
  • プラズマ生成・加熱5章5.2節
  • プラズマダメージ6章6.2節
  • プラズマと壁との相互作用5章5.2節
  • プラズマパラメーター6章6.2節
  • プラズマ密度6章6.2節
  • プラズマCVD5章5.3節
  • フランジ継手2章2.4節
  • フランジに発生する応力3章3.1節
  • プルアウトトルク2章2.6節
  • ブルドン管(真空計)0章0.3節/4章4.1節
  • フロイントリッヒ(吸着)式1章1.4節/3章3.3節
  • フロート流量計4章4.3節
  • プロセスパラメーター6章6.2節
  • プロセスモニター4章4.2節
  • 分圧計4章4.2節
  • 分圧標準4章4.6節
  • 分極率1章1.4節
  • 分散力1章1.4節
  • 分子状コンタミネーション5章5.2節
  • 分子状励起子1章1.4節
  • 分子線エピタキシー装置3章3.1節
  • 分子線エピタキシー法6章6.1節
  • 分子直径1章1.1節
  • 分子ドラッグポンプ0章0.2節
  • 噴出1章1.1節
  • 分子流1章1.2節/1章1.3節
  • 分子流量1章1.3節
  • 分子流領域でのコンダクタンス1章1.3節
  • 分配関数1章1.4節
  • 分布型イオンポンプ3章3.2節
  • 平均自由行程1章1.1節/6章6.2節
  • 平均(表面)滞在時間1章1.4節/3章3.1節/3章3.3節/5章5.1節
  • 平行平板容量結合型プラズマ6章6.2節
  • 平面直角座標系5章5.2節
  • ベーカブルフランジ2章2.4節
  • ベーキング(ベーク)2章2.8節/2章2.9節/3章3.3節/5章5.1節/5章5.2節
  • ペニング真空計4章4.1節
  • ペニング放電3章3.2節
  • ヘリウム透過率1章1.5節
  • ヘリウム漏れ試験での応答時間3章3.5節
  • ヘリウムリークディテクター3章3.5節
  • ヘリカル方式5章5.2節
  • ベリリウム銅合金5章5.1節
  • ベルヌーイの定理1章1.3節
  • ヘルマーゲージ4章4.1節
  • ベローズシール2章2.6節
  • ベローズポンプ3章3.2節
  • 弁シール2章2.4節
  • 偏芯ベローズ2章2.6節
  • 変調型電離真空計4章4.1節
  • ベーンポンプ3章3.2節
  • ヘンリー吸着式3章3.3節
  • ヘンリー則1章1.4節
  • ボイルの法則1章1.1節
  • ボイルのJ管0章0.1節
  • 放射化5章5.2節
  • 放射光5章5.2節
  • 放射加熱型蒸発源3章3.2節
  • 膨張法4章4.6節
  • 放電5章5.2節
  • 放電の防止5章5.2節
  • 放電洗浄2章2.8節
  • 飽和蒸気圧曲線3章3.2節
  • ホー係数3章3.2節
  • 保守用フランジ2章2.4節
  • 補償導線2章2.7節
  • 補助軸受3章3.2節
  • ボーム速度6章6.2節
  • ポリイミド2章2.2節
  • ポリイミドバルブ2章2.4節
  • ボルツマン定数1章1.1節
  • ボルト締めフランジ2章2.4節
  • ボルトの締付け力3章3.1節
  • ボールバルブ2章2.4節
  • ボロンコーティング5章5.2節
  • ボンネットシール2章2.4節
  • ポンプからのガス放出2章2.9節
  • ポンプの逆拡散3章3.5節
  • ポンプ油の蒸気圧2章2.9節
  • ポンプ保護システム3章3.2節
  • マイヤーの関係式1章1.1節
  • マーカスの方法1章1.3節
  • 膜式流量計4章4.3節
  • マクスウェル・ボルツマン速度分布1章1.1節/1章1.4節/1章1.6節
  • マグデブルクの半球0章0.1節
  • マグネトロン型真空計4章4.1節
  • マグネトロンスパッタ源5章5.3節
  • マクラウド真空計0章0.3節/4章4.1節
  • 摩擦撹拌溶接2章2.3節
  • 摩擦係数2章2.5節
  • マシナブルセラミックス2章2.2節
  • マシュー方程式4章4.2節
  • マスフローコントローラー4章4.3節
  • マッハ数1章1.3節
  • 魔法瓶5章5.3節
  • マルチチャンバーシステム3章3.1節
  • マルチパクター2章2.7節
  • 無酸素銅(OFHC)2章2.1節/2章2.4節
  • メタライジング2章2.3節
  • メタルシールフランジ2章2.4節
  • メタル中空Oリング2章2.4節
  • 面シール型グスケット2章2.4節
  • 面シール式継手2章2.4節
  • 面積流量計4章4.3節
  • メンブレンリーク4章4.3節
  • モースポテンシャル1章1.4節
  • モル1章1.1節
  • モル質量1章1.1節
  • ヤング率2章2.4節
  • 融解チタンメタライジング法2章2.3節
  • 有機金属化学的気相成長5章5.3節
  • 誘起双極子1章1.4節
  • 誘導結合型プラズマ6章6.2節
  • 輸送係数1章1.2節
  • 溶解拡散機構4章4.5節
  • 溶解度係数4章4.5節
  • 溶接ベローズ2章2.6節
  • 陽電子放射断層撮影装置5章5.3節
  • 揺動ピストン型3章3.2節
  • 余弦則1章1.3節/1章1.4節
  • 呼び径2章2.4節
  • 四極子形質量分析計0章0.3節/4章4.2節
  • 四極子形マスフィルター4章4.2節
  • 四極子モーメント1章1.4節
  • ラザフォード後方散乱分光法6章6.3節
  • ラジカルフラックス6章6.2節
  • ラファティゲージ4章4.1節
  • ラングミュア吸着式1章1.4節/3章3.3節
  • 乱流1章1.3節
  • 乱流のコンダクタンス1章1.3節
  • リーク検査(テスト)3章3.1節/3章3.5節/5章5.1節/5章5.2節
  • リークバルブ2章2.4節
  • リーク標準4章4.6節
  • リーク量の換算3章3.5節
  • リーク量の単位3章3.5節
  • リーク路3章3.1節
  • 理想排気速度1章1.1節
  • リフレクトロン4章4.2節
  • 粒子加速器5章5.2節
  • 粒子状コンタミネーション5章5.2節
  • 流束1章1.2節/1章1.6節
  • 流束密度1章1.2節
  • 流量1章1.3節
  • 流路切替え法4章4.5節
  • 臨界圧力比1章1.3節
  • 臨界温度1章1.4節
  • 臨界点1章1.1節
  • 臨界ノズル4章4.3節
  • 臨界背圧曲線3章3.1節
  • 臨界流量1章1.3節
  • ルーツ型ドライポンプ3章3.2節
  • ルーツポンプ3章3.2節/5章5.2節
  • ルーツポンプの排気性能3章3.2節
  • 冷陰極電離真空計4章4.1節
  • 励起子1章1.4節
  • 励磁最大静止トルク2章2.6節
  • レイノルズ数1章1.3節
  • レジン含浸5章5.3節
  • レナード・ジョーンズポテンシャル1章1.1節/1章1.4節
  • ローター温度3章3.2節
  • ロシュミット数1章1.1節
  • A
  • B
  • C
  • D
  • E
  • AC1章1.4節
  • AES6章6.3節
  • Antoniewicz機構1章1.4節
  • APS2章2.8節
  • ATゲージ4章4.1節
  • BET式1章1.4節
  • BET法1章1.4節
  • Blyholderモデル1章1.4節
  • BNコーティング2章2.2節
  • B-A型電離真空計0章0.3節
  • B–A真空計4章4.1節
  • CCG4章4.1節
  • CCP6章6.2節
  • CE機構1章1.4節
  • CFフランジ2章2.4節
  • CMM4章4.1節
  • CP3章3.1節
  • CVD6章6.1節
  • DDC4章4.2節
  • delayed-DCramp4章4.2節
  • DH法5章5.3節
  • DIET1章1.4節
  • DIP3章3.2節
  • DLC2章2.5節/5章5.3節
  • DP3章3.1節/3章3.2節
  • DPRF2章2.6節
  • DR式1章1.4節
  • DRプロット1章1.4節
  • DR法1章1.4節
  • EAI1章1.4節
  • EBPM2章2.4節
  • ECR6章6.2節
  • ED機構1章1.4節
  • EID1章1.4節
  • EPMA6章6.3節
  • e-p不安定性5章5.2節
  • ESCA6章6.3節
  • ESD1章1.4節/4章4.1節/4章4.2節/4章4.4節
  • ESDイオン4章4.2節
  • ESD断面積1章1.4節
  • Euckenformula1章1.2節
  • F
  • G
  • H
  • I
  • J
  • FSW2章2.3節
  • GTR4章4.5節
  • G–Mサイクル3章3.2節
  • HEIS6章6.3節
  • HID5章5.3節
  • HOMO1章1.4節
  • HPPMS6章6.1節
  • ICAO標準大気1章1.1節
  • ICFフランジ2章2.4節/5章5.1節
  • ICP6章6.2節
  • IMFP6章6.3節
  • IP3章3.1節
  • IPDガスケット2章2.4節
  • IPVD6章6.1節
  • ISOフランジ2章2.4節
  • JISフランジ2章2.4節
  • K
  • L
  • M
  • N
  • O
  • KAGRA5章5.2節
  • KF機構1章1.4節
  • Kisliukモデル1章1.4節
  • KnudsenMinimum1章1.3節
  • L字型バルブ2章2.4節
  • LUMO1章1.4節
  • MBE3章3.1節
  • MGR機構1章1.4節
  • MIG溶接2章2.3節
  • ML1章1.4節
  • MOCVD5章5.3節
  • MRI5章5.3節
  • MS4章4.2節
  • MS-Solveyサイクル3章3.2節
  • NEG3章3.2節/5章5.1節
  • NEG材内部の水素濃度3章3.2節
  • NEGポンプ3章3.2節/5章5.2節
  • NEGポンプの活性化3章3.2節
  • NEGポンプの排気速度3章3.2節
  • Nier型イオン源4章4.2節
  • Oリング2章2.4節
  • Oリングシール2章2.6節
  • P
  • Q
  • R
  • S
  • T
  • pd積6章6.1節
  • PET5章5.3節
  • PETフィルムからの気体放出5章5.2節
  • PPA4章4.2節
  • p–Q線図3章3.1節
  • PSA5章5.3節
  • PSD1章1.4節/5章5.2節
  • PSD断面積1章1.4節
  • PSDyield5章5.2節
  • pV値1章1.3節/1章1.4節
  • PVD5章5.3節/6章6.1節
  • PVSA5章5.3節
  • QMS4章4.2節
  • RBS6章6.3節
  • RGA4章4.2節
  • RH法5章5.3節
  • RIE6章6.2節
  • R/L導入機2章2.6節
  • sccm1章1.3節
  • SCE4章4.3節
  • Schulz-Phelpsゲージ4章4.1節
  • SEM5章5.3節
  • SI1章1.1節
  • SIMS6章6.3節
  • SIP3章3.2節
  • STP1章1.5節
  • SUS304Lのガス放出速度5章5.1節
  • SWP6章6.2節
  • Takaishi-Sensuiの式4章4.4節
  • TDS1章1.4節/4章4.5節
  • TEM5章5.3節
  • TIG溶接2章2.3節
  • TiNコーティング2章2.2節
  • TMP3章3.1節
  • TOF4章4.2節
  • TOF-SIMS6章6.3節
  • TPD1章1.4節/4章4.5節
  • TSP3章3.2節
  • TXRF6章6.3節
  • U
  • V
  • W
  • X
  • Y
  • 数字
  • U字管真空計4章4.1節
  • UHV1章1.1節/5章5.1節
  • UV/オゾン洗浄2章2.8節
  • VaRTM5章5.3節
  • VIP5章5.3節
  • wetting転移1章1.4節
  • WVTR4章4.5節
  • X線回折法6章6.3節
  • X線光電子分光法6章6.3節
  • X線励起オージェ電子6章6.3節
  • XHV5章5.1節
  • XPS6章6.3節
  • XRD6章6.3節
  • Y型バルブ2章2.4節
  • 2乗平均(根)速度1章1.1節
  • 15Kクライオパネル3章3.2節
  • 80Kシールド3章3.2節
  • 80Kバッフル3章3.2節

真空科学ハンドブック

  • 日本真空学会 編
  • B5判/590頁 本体20,000円+税

本書の特徴・読者対象

本書の特徴

  • 真空科学・技術に関する類を見ない高度な内容を備えた専門書。
  • 最新の情報を織り込みつつ,真空科学・技術の基礎から応用までをなるべく体系的に平易に解説。

読者対象

  • 真空科学・技術に関わる
    広範にわたる技術者・研究者
  • 真空科学・技術に興味を持つ大学院生

真空科学ハンドブック

  • 日本真空学会 編
  • B5判/590頁 本体20,000円+税

凡例・体裁見本

凡例

1. 構成および章・節・項の区分
  • (a)章・節・項はポイントシステムを採用した.
  • (b)図・表・式は,節ごとの一連番号とした.
2. 用語
  • (a)主要な用語は,その初出時に対応英語を併記した.
  • (b)外国人名は,定理や方法などに冠する際には片仮名書きとし,その他の場合は原語とした.
  • (c)外来語の表記については,そのまま日本語の用語として使用されているものは片仮名書きとし,日本語の用語が統一されていないものは原語で表記した.なお,片仮名表記法は,原則としてJISZ 8301 に準拠した.
  • (d)外国語の略語には,原則として原語(フルスペル)を併記した.
  • (e)真空関連用語の表記は,原則としてJIS Z 8126に準拠した.
3. 単位,定数
単位は,原則として国際単位系(SI)を用いることとした.ただし,文献を引用した場合や広く慣用的に用いられている場合は,SI 以外の単位表記を認めている.
諸定数は2014 CODATA を基にした.ただし,質量標準の見直しに伴って抜本的な改定が行われ,2018年に2018 CODATA が発表される予定である.
4. 数学記号,量記号,単位記号および図記号
一般の数学記号,量記号,単位記号および図記号は,原則としてJIS に準拠した.
5. 文献
  • (a)文献は章末または節末に一括して掲載した.
  • (b)文献番号は章または節ごとの一連番号とした.
  • (c)文献は,本文中のその事項の右肩に片括弧付きの番号を付けて表記した.
  • (d)文献の記載の仕方は,つぎのとおりとした.[雑誌] 著者名:誌名,巻(発行年)ページ.[書籍] 著者名:書名,(編者名)(出版社,出版地,発行年)版,巻,章,ページ.
6. 索引
巻末に五十音順,アルファベット順で掲載した.

体裁見本

内容見本

真空科学ハンドブック

  • 日本真空学会 編
  • B5判/590頁 本体20,000円+税

刊行のことば

 『真空科学ハンドブック』をお届けします.ハンドブックというには大部に過ぎないかといわれると,まさにそのとおりです.むしろ教科書と考えていただいた方がよいでしょう.それも,現在入手可能な真空科学・技術に関する類書の中では,おそらく最も詳しく,かつ最も高度な内容であると思います.かなり充実したものであると自負しております.このような本ができた背景には,永年にわたってJournal of the Vacuum Society of Japan(『真空』誌)に,論文,解説記事を書かれた方々,また,毎年日本真空学会が開講している真空夏季大学の講師として活躍された方々が多数いらっしゃることがあります.

 真空夏季大学は2017年で57回目を迎えました.毎年,テキストを更新し,講師が交替するときには,さらに内容を付け加えるなどして,すでにかなりの厚さとなり,これ自体が真空科学・技術の教科書に成長しています.夏季大学の限られた時間内には教えきれないという矛盾も抱えています.夏季大学のテキストを出版物として残そうという話はずいぶん昔からありました.それが実現しなかったのは,夏季大学のテキストは毎年,講師が更新すべきで固定したものとするのは良くない,すなわち講師もテキスト作りで勉強すべきであるという積極的な理由もありました.一方,これほどページ数の多い本は昨今の出版事情では発行が難しいという背景もありました.

 コロナ社から,社の創立90 周年記念出版として真空学会編集の本を出したいという相談をいただいたのは2013 年のことでした.かねてより真空科学のテキストをまとめたいという希望がありましたので,これは願ってもないことでした.夏季大学のテキストとしてかなりの内容のものが形を成していましたし,しかも,ページ数の制限はないとのことなので,ほとんどの部分はそのまま原稿とすることができる,とかなり楽観的な予想の下,編纂が始まりました.素材がほぼそろっているという点では,その予想は当たっていました.しかし,一つひとつ独立した,しかもそれぞれ講師の色が強く出ている夏季大学のテキストを集めただけでは1 冊の本にはなりません.統一感と一貫性を確かなものにするために編集委員は工夫し,執筆者の皆様にはさまざまのお願いをいたしました.また,時間の制限のために夏季大学では扱っていない項目を加えて,網羅的なものにまとめることにも努力いたしました.

 用語と記号の統一も課題でした.「真空」は相当に広い分野に広がっており,用語・記号にも分野ごとのバラエティがあります.それらを無理矢理に画一的にそろえることは,記述のスマートさを損なうことになるので,適当と思われるところで止めてあります.

 本書には真空科学・技術の過去・現在・未来が詰まっています.「過去」は先人達が築いてきたこの分野の基礎であり,「現在」は,文字どおりこの分野の活動の現状といえるでしょう.「未来」は見えません.予想でしかありません.しかし,本書に書かれていることが,まだ見えぬ未来の科学と技術の礎になることは間違いないと思います.本書がそのように活用されれば編集委員・執筆者一同の喜びであります.

 最後になりましたが,編集委員のお一人,橘内浩之さんが本書の完成をご覧になることなく急逝されましたことはたいへん悲しく残念なことでした.本企画が始まって以来の多大のご尽力に感謝申し上げ,ご冥福をお祈りいたします.

2018年2月

真空科学ハンドブック編集委員会委員長
日本真空学会会長
荒川一郎

真空科学ハンドブック

  • 日本真空学会 編
  • B5判/590頁 本体20,000円+税

著者一覧

編集委員会

委員長
荒川 一郎〔学習院大学〕
委員
(五十音順)
秋道 斉〔産業技術総合研究所〕
稲吉 さかえ〔株式会社アルバック〕
橘内 浩之〔元株式会社日立ハイテクノロジーズ〕,2017年2月逝去
末次 祐介〔高エネルギー加速器研究機構〕
鈴木 基史〔京都大学〕
高橋 主人〔元大島商船高等専門学校〕
土佐 正弘〔物質・材料研究機構〕
中野 武雄〔成蹊大学〕
福田 常男〔大阪市立大学〕
福谷 克之〔東京大学〕
松田 七美男〔東京電機大学〕
松本 益明〔東京学芸大学〕

執筆者一覧
(執筆順)

  • 荒川 一郎〔学習院大学〕 0 章,1.4.6~1.4.8,4.4
  • 齊藤 芳男〔東京大学〕 0 章,5.2.5
  • 松田 七美男〔東京電機大学〕 1.1,1.3.1~1.3.3,1.6.1,1.6.3
  • 福田 常男〔大阪市立大学〕 1.2
  • 末次 祐介〔高エネルギー加速器研究機構〕 1.3.4~1.3.9,3.4,5.2.1
  • 福谷 克之〔東京大学〕 1.4.1~1.4.5,1.6.2,1.6.4
  • 石川 雄一〔元横浜国立大学〕 1.5
  • 土佐 正弘〔物質・材料研究機構〕 2.1,2.2,2.5
  • 板倉 明子〔物質・材料研究機構〕 2.3
  • 為則 雄祐〔高輝度光科学研究センター〕 2.4,2.6
  • 山本 将博〔高エネルギー加速器研究機構〕 2.7.1~2.7.3
  • 道園 真一郎〔高エネルギー加速器研究機構〕 2.7.4
  • 稲吉 さかえ〔株式会社アルバック〕 2.8,2.9
  • 高橋 主人〔元大島商船高等専門学校〕 3.1
  • 川﨑 洋補〔キヤノンアネルバ株式会社〕 3.2.1,3.2.5,3.2.8~3.2.10
  • 濱口 宗久〔株式会社大阪真空機器製作所〕 
  • 臼井 克明〔株式会社荏原製作所〕 3.2.4
  • 降矢 新治〔アルバック・クライオ株式会社〕 3.2.7
  • 堀洋 一郎〔高エネルギー加速器研究機構〕 3.3
  • 井川 秋夫〔島津エミット株式会社〕 3.5
  • 菊地 俊雄〔VISTA 株式会社,元キヤノンアネルバ株式会社〕 4.1.1~4.1.6
  • 髙橋 直樹〔アトナープ株式会社〕 4.1.7,4.2
  • 吉田 肇〔産業技術総合研究所〕 4.3,4.5,4.6
  • 間瀬 一彦〔高エネルギー加速器研究機構〕 5.1
  • 金正 倫計〔日本原子力研究開発機構〕 5.2.2
  • 松田 武志〔宇宙航空研究開発機構〕 5.2.3
  • 森 研人〔宇宙航空研究開発機構〕 5.2.3
  • 小森 彰夫〔自然科学研究機構〕 5.2.4
  • 木ノ切 恭治〔真空テクノサポート〕 5.3
  • 中野 武雄〔成蹊大学〕 6.1
  • 鈴木 基史〔京都大学〕 6.1
  • 江利口 浩二〔京都大学〕 6.2
  • 吉原 一紘〔シエンタ オミクロン株式会社〕 6.3

真空科学ハンドブック

  • 日本真空学会 編
  • B5判/590頁 本体20,000円+税

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