産業制御シリーズ 5
情報システムにおける制御
情報システムの主要装置（磁気および光ディスク，プリンタ，スチールおよびビデオカメラ，VTR，半導体露光装置，エッチング装置）について，それぞれの制御システムを述べ，制御技術適用の効果をわかりやすくまとめた。
- 発行年月日
- 1999/11/12
- 判型
- A5 上製
- ページ数
- 248ページ
- ISBN
- 978-4-339-04425-6
- 内容紹介
- 目次
情報システムの主要装置（磁気および光ディスク，プリンタ，スチールおよびビデオカメラ，VTR，半導体露光装置，エッチング装置）について，それぞれの制御システムを述べ，制御技術適用の効果をわかりやすくまとめた。
1. 情報システムと制御
1.1 はじめに…1
1.2 情報システムの機器・装置…2
1.3 制御技術の適用状況…4
引用・参考文献…6
2. 情報機器
2.1 情報機器の制御…7
2.2 磁気ディスク装置…11
2.2.1 はじめに…11
2.2.2 磁気ヘッドの位置決め方式…14
2.2.3 磁気ヘッドのシーク制御…25
2.2.4 磁気ヘッドのフォローイング制御…30
2.2.5 むすび…38
2.3 光ディスク装置…40
2.3.1 はじめに…40
2.3.2 レンズアクチュエータ制御…44
2.3.3 むすび…51
2.4 プリンタ…52
2.4.1 はじめに…52
2.4.2 感光体の速度制御…55
2.4.3 現像機のトナー濃度制御…63
2.4.4 むすび…69
引用・参考文献…69
3. 映像機器
3.1 映像機器の制御…72
3.2 スチールカメラ…74
3.2.1 はじめに…74
3.2.2 オートフォーカス制御…77
3.2.3 手振れ補正制御…92
3.2.4 むすび…103
3.3 ビデオカメラ…104
3.3.1 はじめに…104
3.3.2 光学系の制御…109
3.3.3 ドラム・キャプスタン制御系の設計…117
3.3.4 外乱オブザーバを用いた制御方式…126
3.3.5 むすび…134
3.4 VTR…134
3.4.1 はじめに…134
3.4.2 VTRの概要…136
3.4.3 ドラム・キャプスタン制御…140
3.4.4 可動ヘッドによるトラッキング制御…151
3.4.5 むすび…162
引用・参考文献…163
4. 半導体製造装置
4.1 半導体製造装置の制御…166
4.2 半導体露光装置…167
4.2.1 はじめに…167
4.2.2 ステッパにおける運動機構…168
4.2.3 微動ステージの運動制御…170
4.2.4 XYステージの運動制御…180
4.2.5 アクティブダンパの制御…193
4.2.6 むすび…207
4.3 ドライエッチング装置…208
4.3.1 はじめに…208
4.3.2 処理室圧力制御…214
4.3.3 エッチング終点判定…219
4.3.4 むすび…225
引用・参考文献…227
索引…231
