電気・電子材料デバイス実験
上記委員会が編集した大学教育用実験書である。今日最も社会から要求されている集積回路,MOSダイオードなどの製作技術の実験を,平易かつ丁寧に記述した。
- 発行年月日
- 1980/04/15
- 判型
- A5 上製/箱入り
- ページ数
- 312ページ
- ISBN
- 978-4-339-00424-3
- 内容紹介
- 目次
上記委員会が編集した大学教育用実験書である。今日最も社会から要求されている集積回路,MOSダイオードなどの製作技術の実験を,平易かつ丁寧に記述した。
1. 実験を始める前に
1-1 安全性に関する注意ー事故をおこさないためにー
1-1-1 薬品を取り扱う際の注意
1-1-2 高圧ボンベおよび減圧弁を取り扱う際の注意
1-1-3 液体窒素を取り扱う際の注意
1-1-4 電磁石を取り扱う際の注意
1-1-5 電気炉を取り扱う際の注意
1-2 共通機器の扱い方
1-2-1 ガスボンベおよび減圧弁の操作手順
1-2-2 イオン交換機の使い方
1-3 技術的な注意と共通技術
1-3-1 機器や材料などの純度
1-3-2 反応管や容器の処理
1-3-3 半導体ウェーハの前処理
1-3-4 角度研摩の方法
1-3-5 ステインエッチング
1-3-6 半導体へのオーム性電極形成
1-4 指導者の方々へ
1-4-1 安全対策
1-4-2 経費の問題と材料および機器の入手法
1-4-3 電気炉の作成法
1-4-4 反応系のガス配管の方法
1-4-5 クライオスタットの準備
1-4-6 反応管などの洗浄容器
1-4-7 反応管の種類と設計
2. 材料作成技術
2-1 結晶成長(西永頌)
2-1-1 ゲルマニウムの気相エピタキシアル成長
2-1-2 GaAsの液相エピタキシアル成長
2-1-3 シリコンの気相エピタキシアル成長
2-2 真空蒸着(菅野卓雄)
2-3 低気圧放電・プラズマ・スパッタ技術(渡辺英夫・針正尚)
3. 物性測定
3-1 半導体のホール効果(菅原昌敬)
3-2 半導体の光学的性質(中井順吉)
3-3 半導体中の少数キャリヤのライフタイムおよびドリフト移動度(菅原昌敬)
3-4 誘電体(直江雅彦)
3-5 磁性体(直江雅彦)
3-6 ルミネセンス(伊藤貞夫)
3-7 熱電子放出および熱電子管(菅野卓雄)
4. デバイス製作技術
4-1 pn接合の製作(松波弘之)
4-2 MOSデバイスの製作
4-2-1 MOSダイオードの製作(菅野卓雄)
4-2-2 MOS集積回路の製作(庄野克房)
5. デバイス特性の測定
5-1 pn接合およびバイポーラトランジスタ(更家淳司・松波弘之)
5-1-1 pn接合の特性
5-1-2 バイポーラトランジスタの特性
5-2 MOSデバイス
5-2-1 MOSダイオード(菅野卓雄)
5-2-2 MOS電界効果トランジスタ(菅野卓雄)
5-2-3 MOS集積回路(庄野克房)
5-3 レーザ(中井順吉)
5-4 水遺跡回路(永田穣)
5-5 電気音響変換デバイス(渡辺英夫・針生尚)
5-6 マイクロ波発生デバイスーガン効果を中心としてー(西永頌)
6. 集積回路の使い方
6-1 アナログICの使い方(永田穣)
6-2 ディジタルICの使い方(佐藤耐・武石喜幸)
6-3 LSIの使い方(佐藤耐・武石喜幸)
索引