科学技術と共に歩む

新版 ULSIデバイス・プロセス技術

• 電子情報通信学会 編・発行
• 菅野 卓雄 東大名誉教授 監修
• 伊藤 隆司 広島大客員教授 編著

本書は、シリコン集積回路のその後の驚異的な発展及びこの技術を基盤とする各種電子デバイスの将来の展開を考慮し、初版の「ULSIデバイス・プロセス技術」を全面的に改定した。ULSIに関わる技術者・研究者の必携書。

電子情報通信学会　大学シリーズ E-5

半導体集積回路

• 電子情報通信学会 編
• 菅野 卓雄 東大名誉教授 著

半導体集積回路工学の概念的な理解を助け，集積化の必要性，利点や，集積回路技術のこれからの傾向に対する認識が深まるように解説した。理工学系学部学生を対象としたシリコン集積回路技術に関する教科書として最適な書。

ULSI設計技術

• 電子情報通信学会 編・発行
• 菅野 卓雄 東大名誉教授 監修

サブミクロン時代のULSI設計技術にスポットを当て，ULSI化に伴う設計上のさまざまな解決すべき課題をクローズアップし，解決への指針が得られるよう工夫して編集されている。

エレクトロニクス　モノグラフシリーズ 3

SiMOSデバイスの物理 - コロナ社創立60周年記念出版 -

• 菅野 卓雄 東大名誉教授・東洋大教授 編著

編者ほか第一線研究者十数名の20年間にわたるSiMOSデバイスの物理に関する研究成果を中心に，先端技術としてのシリコン大規模集積回路技術について理論と実際面から詳細に論述した。

電気・電子材料デバイス実験

• 電気学会 編・発行
• 材料・デバイス実験教育調査専門委員会 編
• 伊藤 貞夫 著
• 河東田 隆 著
• 佐藤 耐 著
• 更家 淳司 著
• 庄野 克房 著
• 菅野 卓雄 東大名誉教授・東洋大教授 著
• 菅原 昌敬 著
• 武石 喜幸 著
• 直江 正彦 著
• 中井 順吉 著
• 永田 穰 元日立製作所技師長 著
• 西永 頌 東大教授 著
• 針生 尚 著
• 松波 弘之 著
• 渡辺 英夫 仙台電波高専名誉教授 著

上記委員会が編集した大学教育用実験書である。今日最も社会から要求されている集積回路，MOSダイオードなどの製作技術の実験を，平易かつ丁寧に記述した。

電気・電子工学大系 25

表面電子工学

• 菅野 卓雄 東大教授 編
• 御子柴 宣夫 東北大教授 編
• 平木 昭夫 阪大助教授 編

表面として清浄表面のほかに実表面，更に半導体と絶縁物との界面も含んで考え，その構造の測定法，表面の量子状態に関する理論，表面における電子伝導現象や機械的振動の問題等最近の情報を含め解説した。