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「小ジャンル:電気・電子工学/プラズマ/プラズマ」検索結果

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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用

ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用

「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎」の応用編。第Ⅰ編「ドライプロセスの基盤技術」および第Ⅱ編「ドライプロセスの応用」から構成され,研究現場や製造現場で的確にドライプロセスが実施できるよう工夫し解説した。

発行年月日
2016/12/28
定価
5,060(本体4,600円+税)
ISBN
978-4-339-04650-2
在庫あり
ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

本書では,まずドライプロセスの歴史的発展過程にふれ,次にこれを支える基盤技術である「真空」「プラズマ」を解説。さらに,代表的なドライプロセスを取り上げ,どのような原理・原則に基づいているか,薄膜・表面評価分析技術について解説。

発行年月日
2013/05/20
定価
3,080(本体2,800円+税)
ISBN
978-4-339-04631-1
在庫あり
プラズマ診断の基礎と応用

プラズマ診断の基礎と応用

プラズマ計測に携わるうえで重要な基本的で代表的な計測法を,原理から記述して装置技術の修得に役立てるとともに,新しいプラズマ計測手法開発の参考になるよう,最新の装置技術を含めた実際の応用例を記述している。

発行年月日
2006/03/17
定価
6,270(本体5,700円+税)
ISBN
978-4-339-00782-4
在庫あり
プラズマの生成と診断 応用への道

プラズマの生成と診断 - 応用への道 -

本書は材料プロセス,エネルギー,宇宙,環境などの工業技術分野で広く使われて成果をあげているプラズマの生成と診断の手法について網羅した初めての成書である。プラズマの基礎から応用まで記述してありハンドブックとして使える。

  • レビュー
発行年月日
2004/01/08
定価
7,260(本体6,600円+税)
ISBN
978-4-339-00761-9
在庫僅少
気体エレクトロニクス

気体エレクトロニクス

本書は,真空中の電子物理と気体放電現象を基礎的事項から,わかりやすく解説している。また,ガスレーザ,プラズマCVD,プラズマディスプレイなどの応用分野についても幅広く取り上げている。

  • レビュー
発行年月日
2003/01/30
定価
3,300(本体3,000円+税)
ISBN
978-4-339-00745-9
在庫あり
荷電粒子ビーム工学

荷電粒子ビーム工学

電子とイオンの発生,ビーム輸送・操作,ビームと固体表面相互作用に関する基礎現象を解説するとともに,荷電粒子ビームの工学応用として,電子ビーム微細加工技術,イオンビーム材料プロセス技術,超高周波電子管について概説。

  • レビュー
発行年月日
2001/05/18
定価
4,400(本体4,000円+税)
ISBN
978-4-339-00734-3
在庫あり
プラズマ工学

電気・電子工学大系 63

プラズマ工学

MHDおよび核融合発電などのエネルギー変換の媒体としてのプラズマの電磁制御の理論と方法を系統的に述べ,弱および強電離プラズマの輸送,生成,平衡および安定性の物性的基礎と具体的方法を示した。

発行年月日
1975/06/10
定価
4,620(本体4,200円+税)
ISBN
978-4-339-00339-0
在庫僅少・カバーなし
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