科学技術と共に歩む

ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用

• 表面技術協会 編
• 関口 敦 工学院大/元 キヤノンアネルバ（株） 著
• 杉村 博之 京大教授 著
• 小田 昭紀 千葉工大教授 著
• 中村 圭二 中部大教授 著
• 井上 泰志 千葉工大教授 著
• 大工原 茂樹 元 日本真空学会 著
• 渡部 修一 日本工大教授 著
• 梅村 茂 元 千葉工大教授 著
• 坂本 幸弘 千葉工大教授 著
• 川名 淳雄 日本コーティングセンター（株） 著
• 黒田 聖治 物質・材料研究機構 著
• 尾形 聡 月島機械（株） 著
• 矢嶋 龍彦 埼玉工大教授 著
• 節原 裕一 阪大教授 著
• 光田 好孝 東大教授 著
• 馬場 恒明 長崎県工業技術センター 著
• 國次 真輔 岡山県工業技術センター 著
• 三浦 健一 大阪府立産業技術総合研究所 著
• 田中 一平 千葉工大 著
• 石原 正統 産業技術総合研究所 著
• 亀山 哲也 産業技術総合研究所 著
• 稲垣 雅彦 産業技術総合研究所 著
• 堀 勝 名大教授 著
• 田中 宏昌 名大特任講師 著

「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎」の応用編。第Ⅰ編「ドライプロセスの基盤技術」および第Ⅱ編「ドライプロセスの応用」から構成され，研究現場や製造現場で的確にドライプロセスが実施できるよう工夫し解説した。

ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

• 表面技術協会 編
• 明石 和夫 東大名誉教授 著
• 杉村 博之 京大教授 著
• 坂本 幸弘 千葉工大教授 著
• 井上 泰志 千葉工大教授 著
• 中野 武雄 成蹊大教授 著
• 大工原 茂樹 日本真空学会 著
• 柏木 邦宏 東洋大名誉教授 著
• 草野 英二 金沢工大教授 著
• 堀 勝 名大教授 著
• 石川 健治 名大教授 著
• 鷹野 一朗 工学院大教授 著
• 伊藤 滋 東京理科大教授 著
• 馬場 恒明 長崎県工業技術センター 著
• 浦尾 亮一 茨城大名誉教授 著
• 馬場 茂 成蹊大教授 著
• 渡部 修一 日本工大教授 著
• 穂積 篤 産業技術総合研究所 著

本書では，まずドライプロセスの歴史的発展過程にふれ，次にこれを支える基盤技術である「真空」「プラズマ」を解説。さらに，代表的なドライプロセスを取り上げ，どのような原理・原則に基づいているか，薄膜・表面評価分析技術について解説。

プラズマ診断の基礎と応用

• プラズマ・核融合学会 編
• 間瀬 淳 著
• 雨宮 宏 著
• 菅井 秀郎 著
• 東井 和夫 著
• 川端 一男 著
• 藤本 孝 著
• 佐々木 浩一 著
• 杉江 達夫 著
• 河野 明廣 著
• 村岡 克紀 著
• 草間 義紀 著
• 井口 春和 著
• 平松 美根男 著
• 堀 勝 著
• 永津 雅章 著
• 渡辺 征夫 著
• 橘 邦英 著
• 森田 繁 著
• 居田 克巳 著
• 江尻 晶 著
• 笹尾 真実子 著
• 松田 俊明 著

プラズマ計測に携わるうえで重要な基本的で代表的な計測法を，原理から記述して装置技術の修得に役立てるとともに，新しいプラズマ計測手法開発の参考になるよう，最新の装置技術を含めた実際の応用例を記述している。

プラズマの生成と診断 - 応用への道 -

• プラズマ・核融合学会 編
• 犬竹 正明 編
• 大久保 邦三 編
• 河合 良信 編
• 佐藤 徳芳 編
• 菅井 秀郎 編
• 藤田 順治 編
• 三間 圀興 編

本書は材料プロセス，エネルギー，宇宙，環境などの工業技術分野で広く使われて成果をあげているプラズマの生成と診断の手法について網羅した初めての成書である。プラズマの基礎から応用まで記述してありハンドブックとして使える。

気体エレクトロニクス

• 金田 輝男 東京電機大名誉教授 著

本書は，真空中の電子物理と気体放電現象を基礎的事項から，わかりやすく解説している。また，ガスレーザ，プラズマCVD，プラズマディスプレイなどの応用分野についても幅広く取り上げている。

荷電粒子ビーム工学

• 石川 順三 京大名誉教授・元中部大教授 著

電子とイオンの発生，ビーム輸送・操作，ビームと固体表面相互作用に関する基礎現象を解説するとともに，荷電粒子ビームの工学応用として，電子ビーム微細加工技術，イオンビーム材料プロセス技術，超高周波電子管について概説。

新コロナシリーズ 21

宇宙からの交響楽 - 超高層プラズマ波動 -

• 早川 正士 電通大教授 著

人類が宇宙空間を旅したり，実際に生活することもさほど遠くない将来と予想される。本書は，地球周辺や惑星で発生する超高層プラズマ波動に焦点を絞り，その特性や伝搬のメカニズムを平易に解説し，宇宙空間の環境を興味深く紹介。

電気・電子工学大系 63

プラズマ工学

• 奥田 孝美 名大名誉教授 著

MHDおよび核融合発電などのエネルギー変換の媒体としてのプラズマの電磁制御の理論と方法を系統的に述べ，弱および強電離プラズマの輸送，生成，平衡および安定性の物性的基礎と具体的方法を示した。