科学技術と共に歩む

荷電粒子ビーム工学

• 石川 順三 京大名誉教授・元中部大教授 著

電子とイオンの発生，ビーム輸送・操作，ビームと固体表面相互作用に関する基礎現象を解説するとともに，荷電粒子ビームの工学応用として，電子ビーム微細加工技術，イオンビーム材料プロセス技術，超高周波電子管について概説。