超精密システムの設計技術

超精密シリーズ 1

超精密システムの設計技術

超精密な運動をする機械システム,機構,要素の設計および制御の原理と技術,また,その応用例として位置決めテーブル,加工機,計測機,システム製品の設計と制御についての理論と実際を詳細に述べた。

ジャンル
発行年月日
1996/03/25
判型
A5
ページ数
224ページ
ISBN
978-4-339-04411-9
超精密システムの設計技術
品切

定価

3,520(本体3,200円+税)

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超精密な運動をする機械システム,機構,要素の設計および制御の原理と技術,また,その応用例として位置決めテーブル,加工機,計測機,システム製品の設計と制御についての理論と実際を詳細に述べた。

1 超精密機械システムの設計原理
1.1 機構学と運動学
1.2 機構学的運動創成原理─機構学的仮設─
1.3 運動学的設計原理とその展開
  1.3.1 運動創成と拘束
  1.3.2 運動創成と駆動
  1.3.3 遊び,摩擦およびローストモーションと運動学的設計
  1.3.4 アッベの原理(アラインメントの原理)
  1.3.5 構造ループと力の流れ─structural loopとforce flow─
1.4 精密運動創成のための過剰拘束と弾性的平均化─点拘束から面拘束へ─
1.5 ロストモーションフリー,高剛性サーボ機構
  1.5.1 力操作形アクチュエータの概念
  1.5.2 制御対象の出力測定ループと駆動に伴う力ループの分離
1.6 構造材料の選択
引用・参考文献
2 超精密回転要素および機構の設計原理
2.1 超精密回転要素の理想
2.2 超精密回転要素の機能と特性
  2.2.1 超精密用流体軸受
  2.2.2 超精密回転用転がり軸受
  2.2.3 超精密回転駆動法
  2.2.4 超精密回転用軸の設計
  2.2.5 軸受ハウジング
引用・参考文献
3 超精密直動要素および機構の設計原理
3.1 はじめに
3.2 ボールねじ
  3.2.1 ボールねじ系の精度
  3.2.2 ボールねじ単体特性
  3.2.3 組立上の注意
  3.2.4 むすび
3.3 直動案内軸受
  3.3.1 転がり案内面の特長
  3.3.2 直動案内軸受の種類と適性
  3.3.3 直動案内軸受の配置
  3.3.4 直動案内軸受の寸法の選定
  3.3.5 精度に関する注意
  3.3.6 潤滑
  3.3.7 防じん
  3.3.8 応用例
3.4 カップリング
  3.4.1 カップリングの必要性
  3.4.2 カップリングの種類
  3.4.3 カップリングと軸の固定方法
  3.4.4 カップリングの特性
引用・参考文献
4 超精密運動の制御の原理
4.1 はじめに
4.2 運動制御の基礎
  4.2.1 位置決め制御方式
  4.2.2 位置決め制御に要求される機構特性
  4.2.3 超精密駆動機構
  4.2.4 超精密運動の阻害要因
4.3 半導体製造用ステージの位置決め制御
  4.3.1 機構構成
  4.3.2 位置決め制御方式
4.4 位置合せ制御技術
  4.4.1 マーク拡大像を利用する方式
  4.4.2 マークからの回折光を利用する方式
4.5 むすび
引用・参考文献
5 超精密機械システムの設計例
5.1 超精密加工機
  5.1.1 超精密加工の意義
  5.1.2 空気静圧スピンドル
  5.1.3 空気静圧案内
  5.1.4 超精密加工機への応用
5.2 真円度測定機
  5.2.1 はじめに
  5.2.2 真円度測定機の概要
  5.2.3 真円度測定機の機構設計
  5.2.4 回転精度の検定方法
  5.2.5 むすび
5.3 ルーリングエンジン
  5.3.1 はじめに
  5.3.2 回折格子の格子溝精度と分光性能
  5.3.3 ルーリングエンジンのシステム設計
  5.3.4 ルーリングエンジンにおける高精度格子溝の配列
  5.3.5 ルーリングエンジンの光波干渉制御
  5.3.6 数値制御ルーリングエンジンによる不等間隔格子溝刻線
  5.3.7 むすび
5.4 高密度磁気ディスク装置
  5.4.1 はじめに
  5.4.2 ヘッド位置決め系の機構設計と制御技術
  5.4.3 浮動ヘッドスライダの薄膜気体潤滑
  5.4.4 トライボロジー
  5.4.5 むすび
5.5 光ディスク
  5.5.1 光ディスクの種類と原理
  5.5.2 光ディスク円板の作製
  5.5.3 記録再生装置
引用・参考文献
索引

塚田 忠夫(ツカダ タダオ)

石川 聖(イシカワ ヒジリ)

角田 和雄(カクタ カズオ)

中沢 弘(ナカザワ ヒロシ)

中村 哲夫(ナカムラ テツオ)

原田 達男(ハラダ タツオ)

和田 龍児(ワダ リュウジ)

宮下 政和(ミヤシタ マサカズ)

金井 彰(カナイ アキラ)

大田 眞土(オオタ マド)

加賀 敬悦(カガ タカエツ)

笠井 進一(シンイチ カサイ)

玉置 明(タマオキ アキラ)

木下 博雄(ヒロオ キノシタ)

田中 克敏(タナカ カツトシ)

荒井 正敏(アライ マサトシ)

兼田 雄司(カネダ ユウジ)

原田 達男(ハラダ タツオ)

佐藤 勇武(サトウ イサム)

柿崎 隆夫(カキザキ タカオ)

大久保 俊文(オオクボ トシフミ)

角田 義人(カクタ ヨシト)

原 文夫(ハラ フミオ)