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超精密システムの設計技術

超精密シリーズ 1

超精密システムの設計技術

超精密な運動をする機械システム,機構,要素の設計および制御の原理と技術,また,その応用例として位置決めテーブル,加工機,計測機,システム製品の設計と制御についての理論と実際を詳細に述べた。

発行年月日
1996/03/25
定価
3,520(本体3,200円+税)
ISBN
978-4-339-04411-9
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