レビュー,書籍紹介・書評掲載情報ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

本書では，まずドライプロセスの歴史的発展過程にふれ，次にこれを支える基盤技術である「真空」「プラズマ」を解説。さらに，代表的なドライプロセスを取り上げ，どのような原理・原則に基づいているか，薄膜・表面評価分析技術について解説。

在庫あり

「Electoronic Journal」（電子ジャーナル発行）　2013年8月号

掲載日：2013/08/21

上記雑誌に書評が掲載されました。

日刊工業新聞2013年5月28日　「技術科学図書」欄

掲載日：2013/06/17

日刊工業新聞「技術科学図書」欄に当書籍の新刊紹介が掲載されました。

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日刊工業新聞2013年5月28日　「技術科学図書」欄

掲載日：2013/04/23

日刊工業新聞「技術科学図書」欄に当書籍の新刊紹介が掲載されました。

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