科学技術と共に歩む

目次
１ マイクロロボットヘの期待
　１．１　マイクロロボットとは何か？
　　１．１．１　マイクロ
　　１．１．２　ロボット
　１．２　マイクロロボットの例
　　１．２．１　狭隘部作業マイクロロボット
　　１．２．２　微細作業マイクロロボット
　１．３　マイクロロボットの歴史
　１．４　マイクロアクチュエータ
２．電磁力を用いたマイクロアクチュエータ
　２．１　各種電磁アクチュエータ
　　２．１．１　電磁モータ
　　２．１．２　ボイスコイル形アクチュエータ
　　２．１．３　電磁ワブルモータ
　２．２　微小歯車のワイヤ放電加工
　　２．２．１　歯車のワイヤ放電加工
　　２．２．２　インボリュート歯車の歯形
　　２．２．３　インボリュート歯車の従来歯切り法
　　２．２．４　微小インボリュート歯車のワイヤ放電加工法
　　２．２．５　ワイヤ放電加工における加工限界
　　２．２．６　ワイヤ放電加工による切下げ限界モジュール歯車の試作
　　２．２．７　今後の期待
　２．３　マイクロ不思議遊星歯車減速機
　　２．３．１　減速機の役割
　　２．３．２　遊星歯車減速機の構成および特長
　　２．３．３　３Ｋ形不思議遊星歯車機構
　　２．３．４　マイクロ不思議遊星歯車減速機の試作
　２．４　マイクロエンコーダ
　　２．４．１　マイロクエンコーダの構造と検出
　　２．４．２
　　２．４．３　マイクロエンコーダの出力特性
　　２．４．４　マイクロエンコーダの性能
　２．５　マイクロサーボアクチュエータ
　　２．５．１　マイクロサーボアクチュエータの構成
　　２．５．２　マイクロサーボアクチュエータの製作
　　２．５．３　アクチュエータの出力特性
　　２．５．４　遊星歯車減速機の効率
　　２．５．５　エンコーダの出力
３　空気圧を用いたマイクロアクチュエータ
　３．１　空気圧アクチュエータのマイクロ化
　３．２　フレキシブルマイクロアクチュエータ
　　３．２．１　アーム形ＦＭＡの構造
　　３．２．２　グリッパ形ＦＭＡの構造
　　３．２．３　ＦＭＡの駆動方法
　　３．２．４　α＝０ アーム形ＦＭＡの静特性
　　３．２．５　α＝０ アーム形ＦＭＡの動特性
　　３．２．６　マイクロロボットヘの応用
　　３．２．７　ＦＭＡの特徴
　３．３　バブラ
　　３．３．１　バブラの構造と駆動原理
　　３．３．２　フィン先端の軌跡
　　３．３．３　実測データ
　　３．３．４　円筒形バブラ
　　３．３．５　バブラの特徴
　３．４　マイクロ空気圧ワブルモータ
　　３．４．１　各種ワブルモータ
　　３．４．２自転形空気圧ワブルモータの構造と動作原理
　　３．４．３ 出力トルク
　　３．４．４　マイクロ空気圧ワブルモータの特徴
　３．５　ゴムのマイクロ成形法
　　３．５．１　ゴムの注型加工
　　３．５．２　マイクロ光造形法
４　静電気力を用いたマイクロアクチュエータ
　４．１　静電アクチュエータの特徴
　４．２　リニアアクチュエータ　
　　４．２．１　ステッピング形静電リニアアクチュエータ
　　４．２．２　進行波形静電リニアアクチュエータ
　４．３　光学機器への応用
　　４．３．１　焦点調整機構の構造と動作原理
　　４．３．２　製作および組立方法
　　４．３．３　試作結果および今後の課題
　４．４　半導体製造プロセスによるアクチュエータの製作
　　４．４．１　シリコンの結晶方位を利用した異方性エッチング
　　４．４．２　プリアセンブル手法
　４．５　静電ワブルモータ
　　４．５．１　歯形付き静電ワブルモータ
　　４．５．２　静電ワブルモータの設計と加工
　　４．５．３　実験データ
５　マイクロロボットヘの応用
　５．１　マイクロスカラロボット
　　５．１．１　マイクロスカラロボットの構成
　　５．１．２　制御方法
　　５．１．３　空気圧式の手首機構
　５．２　管内作業ロボット
　５．２．１　２インチ用配管点検ロボット
　　５．２．２　１インチ用配管作業ロボット
　　５．２．３　細径管内移動機構
　　５．２．４　配管ロボットの実用化
　５．３　ワイヤレス走行ロボット
　　５．３．１　ワイヤレス走行ロボットの構成
　　５．３．２　性能
６　各マイクロアクチュエータの特徴
　６．１　他のマイクロアクチュエータ
　６．２　各マイクロアクチュエータの特徴
参考文献
索引