科学技術と共に歩む

集積回路のための半導体デバイス工学

• 小林 清輝 東海大教授 著

本書は「シリコンを使ったMOS 集積回路」について初めて学ぼうとする学生や技術者のための教科書である。MOSFETの動作原理やLSI製造に関する各プロセス技術の基本原理，LSIの構成と動作などについて丁寧に解説した。