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「著者:堀 照夫」検索結果

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躍進する超臨界流体技術 新しいプロセスの原理とその実用化

躍進する超臨界流体技術 - 新しいプロセスの原理とその実用化 -

液体と気体の両方の性質をあわせ持つ超臨界流体を用いた技術は,食品やエネルギー,環境,材料等の幅広い分野で利用されている。「分離・反応プロセス」「材料調製プロセス」「実用化の課題」の三編構成とし,詳しく解説した。

発行年月日
2014/12/22
定価
3,410(本体3,100円+税)
ISBN
978-4-339-06635-7
在庫あり
半導体・MEMSのための超臨界流体

半導体・MEMSのための超臨界流体

気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について,その特長と,乾燥,めっき,薄膜堆積,洗浄など,半導体・MEMSのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説した,超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。

  • 電子版あり
発行年月日
2012/09/28
定価
3,740(本体3,400円+税)
ISBN
978-4-339-00837-1
在庫あり
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