検索結果 「著者:服部 毅」検索結果 絞り込み 電気・電子工学 在庫あり 在庫僅少 立ち読みあり 電子版あり 教科書向け レビューあり ※書籍在庫がない場合でも電子版がある場合があります。電子版ありにチェックをつけてください。 再検索 さらに詳細に絞り込む 1件中 1件 - 1件 表示順 発行年月日降順 発行年月日昇順 表示件数 15件 30件 50件 100件 1 半導体・MEMSのための超臨界流体 近藤 英一 山梨大教授 編著上野 和良 芝浦工大教授 著内田 寛 上智大准教授 著曽根 正人 東工大准教授 著生津 英夫 NTTアドバンステクノロジ (株) 著服部 毅 Hattori Consulting International 著堀 照夫 福井大教授 著森口 誠 オムロン (株) 著 気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について,その特長と,乾燥,めっき,薄膜堆積,洗浄など,半導体・MEMSのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説した,超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。 電子版あり 発行年月日 2012/09/28 定価 3,740円(本体3,400円+税) ISBN 978-4-339-00837-1 在庫あり 詳細を見る 1件中 1件 - 1件 1
半導体・MEMSのための超臨界流体 近藤 英一 山梨大教授 編著上野 和良 芝浦工大教授 著内田 寛 上智大准教授 著曽根 正人 東工大准教授 著生津 英夫 NTTアドバンステクノロジ (株) 著服部 毅 Hattori Consulting International 著堀 照夫 福井大教授 著森口 誠 オムロン (株) 著 気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について,その特長と,乾燥,めっき,薄膜堆積,洗浄など,半導体・MEMSのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説した,超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。 電子版あり 発行年月日 2012/09/28 定価 3,740円(本体3,400円+税) ISBN 978-4-339-00837-1 在庫あり 詳細を見る