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積層材料技術

積層材料技術

最近の半導体デバイス技術の進歩に大きく貢献している薄膜の積層化技術を,その必要性,材料・構造選択,製作技術,評価技術の4点について各分野の第一級の研究者が執筆し,編集したもの。

発行年月日
1989/12/25
定価
7,700(本体7,000円+税)
ISBN
978-4-339-00572-1
品切・重版未定
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