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半導体結晶成長

半導体結晶成長

エレクトロニクスや最先端科学を支えている多様な半導体の結晶成長について,表面における原子・分子の動きをとらえることから,結晶成長とその技術,さらには成長した半導体結晶の性質に至るまでを解説した。

発行年月日
1999/02/08
定価
4,180(本体3,800円+税)
ISBN
978-4-339-00704-6
在庫僅少・カバーなし
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