科学技術と共に歩む

１．プロセス計測技術の特徴
1.1　はじめに
1.2　計測技術とセンシング技術
1.3　プロセス計測技術
　1.3.1　選択性
　1.3.2　精度
　1.3.3　耐環境性
　1.3.4　信頼性
　1.3.5　無影響性
　1.3.6　経済性

２．プロセス物理量の計測技術
2.1　はじめに
2.2　四つのプロセス物理量
2.3　示量変数と示強変数
2.4　プロセスでの差圧計測の重要性
2.5　圧力・差圧の計測技術
2.6　プロセス流量の計測技術
　2.6.1　いろいろなタイプの流量計
　2.6.2　流体エネルギー抽出型と外部エネルギー付加型
　2.6.3　プロセス流体の性質・条件
　2.6.4　タイプ別流量計の長所と欠点
　2.6.5　差圧流量計の原理と特徴―インラインとオフライン流量計―
　2.6.6　電磁流量計の原理と特徴
　2.6.7　超音波流量計の原理と特徴
2.7　今後の流量計測技術

３．プロセス成分の分析
3.1　はじめに
3.2　電気化学・電気的特性を利用する検出器
　3.2.1　電気伝導性測定法
　3.2.2　電位差測定法
　3.2.3　ポーラログラフィ
3.3　物理化学的特性を利用する検出器
　3.3.1　熱伝導度計
　3.3.2　接触燃焼式ガス検知
　3.3.3　振動式密度計
3.4　クロマトグラフィ
3.5　フローインジェクション
3.6　サンプリング

４．プロセス成分のシステム分析
4.1　はじめに
4.2　電磁波を用いた分析機器
4.3　質量分析
　4.3.1　質量分析の原理と装置
　4.3.2　プロセス質量分析
4.4　核磁気共鳴分析
　4.4.1　ＮＭＲ分析の原理と装置
　4.4.2　プロセスＮＭＲ分析
4.5　赤外分光分析
　4.5.1　赤外分光分析の原理
　4.5.2　分光器
　4.5.3　プロセス赤外分光分析
4.6　近赤外分光分析
　4.6.1　金赤外分光分析の原理と特色
　4.6.2　金赤外分光器
　4.6.3　金赤外分光装置の応用例
4.7　ラマン分光分析
　4.7.1　ラマン分光分析の原理
　4.7.2　ラマン分光器
　4.7.3　プロセスラマン分光分析
4.8　そのほかの電磁波を使用した分析器
　4.8.1　磁気式酸素計
　4.8.2　非分散型赤外線吸収分析計
4.9　多変量解析とケモメトリックス

５．環境監視計測技術
5.1　環境監視計測の目的
5.2　大気環境監視技術
　5.2.1　硫黄酸化物測定技術
　5.2.2　窒素酸化物測定技術
　5.2.3　浮遊粒子状物質測定技術
　5.2.4　光化学オキシダント測定技術
　5.2.5　フロン測定技術
　5.2.6　塩化化合物測定法（発生源）
　5.2.7　リモート監視技術
5.3　水質環境監視技術
　5.3.1　ＢＯＤおよびＣＯＤ測定技術
　5.3.2　濁度測定技術
　5.3.3　全リン・全窒素量測定技術
　5.3.4　有害重金属測定技術
　5.3.5　有害揮発性有機化合物（ＶＯＣ）測定技術
　5.3.6　油分測定技術
5.4　騒音測定技術

６．電気量の測定
6.1　はじめに
6.2　ディジタルマルチメータ
　6.2.1　構成
　6.2.2　入力端子
　6.2.3　電気量-電圧変換部
　6.2.4　Ａ-Ｄ変換部
6.3　微小電流測定
6.4　絶縁抵抗測定
6.5　電力測定
6.6　オシロスコープ
　6.6.1　アナログオシロスコープ
　6.6.2　ディジタルオシロスコープ

７．高周波計測
7.1　高周波計測の基礎
　7.1.1　デシベル
　7.1.2　Ｓパラメータとスミスチャート
7.2　周波数カウンタ
7.3　高周波パワーメータ
7.4　スペクトラムアナライザ
7.5　周波数シンセサイザ
7.6　ネットワークアナライザ
7.7　ノイズフイギャーメータ
7.8　ＳＳＢ位相ノイズ測定
7.9　高周波測定用アクセサリ

８．半導体デバイス特性計測技術
8.1　はじめに
8.2　半導体デバイス検査の目的
8.3　半導体デバイス検査時の周囲温度
8.4　半導体デバイス検査の種類
8.5　半導体デバイス検査に使用する装置
8.6　半導体テスト技術
　8.6.1　ダイオード・トランジスタのテスト技術
　8.6.2　汎用演算増幅器テスト技術
　8.6.3　ロジックＩＣテスト技術
　8.6.4　メモリＩＣテスト技術
　8.6.5　リニアＩＣテスト技術
　8.6.6　ミックスシグナルＩＣテスト技術
8.7　半導体デバイステストの実際
8.8　まとめ
参考資料

参考文献
索引