科学技術と共に歩む

薄膜トランジスタ

• 薄膜材料デバイス研究会 編
• 浦岡 行治 奈良先端科学技術大学院大准教授 著
• 神谷 利夫 東工大准教授 著
• 鮫島 俊之 東京農工大教授 著
• 木村 睦 龍谷大教授 著
• 清水 耕作 日大准教授 著
• 中村 雅一 千葉大准教授 著
• 東 清一郎 広島大准教授 著
• 堀田 將 北陸先端科学技術大学院大准教授 著
• 古田 守 高知工科大准教授 著
• 竹知 和重 日本電気（株） 著
• 佐野 直樹 （株）ハイテック・システムズ 著

液晶テレビ，パソコン，携帯電話などのディスプレイ素子として近年発展目覚しい薄膜トランジスタ（TFT）の解説書。非晶質・多結晶シリコン，酸化物，有機によるTFTの原理，作製，評価を中心に，応用，将来にもふれる。