科学技術と共に歩む

大学講義シリーズ

新版 集積回路工学（1） - プロセス・デバイス技術編 -

• 永田 穰 日立製作所名誉嘱託 著
• 柳井 久義 東大名誉教授・元芝浦工大学長 著

広範な集積回路技術を基本から学ぶ学生や研究者向けに，基礎的な理論とプロセス・デバイス技術を，数値例，演習問題を豊富に取り入れて解説。新版では，ＭＯＳのアナログ回路など新しく重要度の増してきた技術の記述を強化した。