科学技術と共に歩む

真空科学ハンドブック

• 日本真空学会 編

真空の基礎科学から作成・計測・保持する技術に関わる科学的基礎を解説。また，成膜，プラズマプロセスなどの応用分野で真空環境の役割を説き，極高真空などのこれまでにない真空環境が要求される研究・応用への取組みなどを紹介。