科学技術と共に歩む

目次
1.　序論
1.1　概説…1
1.2　気体エレクトロニクスと電子工学…1
1.3　電子物理学の誕生…2
1.4　放電物理学の誕生…8
1.5　気体エレクトロニクスの発展…11
2.　静電気の基本則
2.1　概説…15
2.2　クーロンの法則…15
2.3　電界の強さ…17
2.4　電位と電位差…19
2.5　ガウスの定理…21
2.6　電位の傾き…23
2.7　ポアソンの式，ラプラスの式…24
3.　電子
3.1　概説…26
3.2　比電荷の測定…26
3.3　電子の電荷…30
3.4　電子の質量…32
3.5　電子の大きさ…34
3.6　電子の波動性…35
　　3.6.1　ラムザウアー効果…35
　　3.6.2　ド・ブロイ波…37
4.　熱放射と光量子
4.1　概説…39
4.2　熱放射…39
4.3　放射と吸収…40
4.4　温度一定の容器の熱放射…41
4.5　キルヒホッフの法則…42
4.6　空洞放射…43
4.7　ウィーンの変位則…44
4.8　プランクの量子仮説…45
5.　原子の構造
5.1　概説…48
5.2　原子…48
　　5.2.1　原子核の構造…49
　　5.2.2　原子核の質量…49
　　5.2.3　同位元素…49
　　5.2.4　質量数…50
5.3　核外電子…51
5.4　原子模型…54
　　5.4.1　トムソンと長岡の原子模型…54
　　5.4.2　ボーア模型…56
5.5　最外殻電子…59
6.　電子放出
6.1　概説…60
6.2　仕事関数…60
6.3　熱電子放出…62
　　6.3.1　純金属陰極…62
　　6.3.2　単原子層陰極…63
　　6.3.3　酸化物陰極…65
　　6.3.4　サプライ陰極…66
　　6.3.5　ショットキー効果…67
6.4　光電子放出…68
　　6.4.1　光電子放出現象…68
　　6.4.2　限界波長…69
　　6.4.3　量子効率…70
　　6.4.4　光電面…72
6.5　二次電子放出…73
　　6.5.1　二次電子放出率…73
　　6.5.2　二次電子のエネルギー分布…74
　　6.5.3　光電子増倍管…75
6.6　電界放出…76
7.　真空中の電子の運動
7.1　概説…78
7.2　真空技術…78
　　7.2.1　真空ポンプ…79
　　7.2.2　真空度の測定…81
　　7.2.3　真空技術の応用…84
7.3　電界中の電子の運動…84
7.4　磁界中の電子の運動…87
7.5　電界・磁界中の電子の運動…88
7.6　電子レンズ…92
　　7.6.1　静電レンズ…92
　　7.6.2　磁気レンズ…97
8.　電子ビーム
8.1　概説…100
8.2　電子銃…100
8.3　ブラウン管オシロスコープ…102
　　8.3.1　静電偏向形ブラウン管オシロスコープ…102
　　8.3.2　磁電偏向形ブラウン管オシロスコープ…106
8.4　電子顕微鏡…109
8.5　電子ビームの吸収…110
8.6　電子ビーム加工…112
8.7　X線放射…114
8.8　電子ビームによる排ガス処理…116
8.9　電子ビームによる表面処理…118
9.　気体放電の基礎
9.1　概説…120
9.2　気体分子運動論…120
　　9.2.1　気体の特性方程式…120
　　9.2.2　分子の速度分布関数と平均速度…121
　　9.2.3　衝突断面積…123
　　9.2.4　衝突頻度…124
　　9.2.5　平均自由行程…125
9.3　粒子の衝突過程…126
　　9.3.1　弾性衝突…126
　　9.3.2　非弾性衝突…128
9.4　電離…129
　　9.4.1　電離過程…129
　　9.4.2　衝突電離…130
　　9.4.3　光電離…134
　　9.4.4　熱電離…135
9.5　励起…135
　　9.5.1　励起過程…135
　　9.5.2　準安定状態…137
　　9.5.3　ペニング効果…139
9.6　再結合と付着…140
　　9.6.1　再結合…140
　　9.6.2　付着…141
9.7　移動度…142
9.8　拡散…144
10.　気体の絶縁破壊・コロナ放電
10.1　概説…147
10.2　放電の開始…147
　　10.2.1　暗流…147
　　10.2.2　火花条件…150
　　10.2.3　パッシェンの法則…152
10.3　コロナ放電…154
　　10.3.1　コロナ放電の種類…154
　　10.3.2　陰極コロナ…155
　　10.3.3　陽極コロナ…156
10.4　コロナ放電の応用…157
　　10.4.1　静電粉体塗装…157
　　10.4.2　電子複写機…158
　　10.4.3　電気集塵装置…159
　　10.4.4　オゾナイザ…160
11.　グロー放電
11.1　概説…163
11.2　グロー放電の形式…163
11.3　陰極降下領域…166
11.4　負グロー…168
11.5　ファラデー暗部…169
11.6　陽光柱…170
　　11.6.1　両極性拡散…170
　　11.6.2　電子密度分布…172
　　11.6.3　電子温度…174
　　11.6.4　軸方向電界…175
　　11.6.5　径方向電界…176
　　11.6.6　放電電流と電子密度…177
11.7　陽極降下領域…178
　　11.7.1　陽極グロー…178
　　11.7.2　陽極降下…178
11.8　高周波放電…178
　　11.8.1　高周波放電の発生…178
　　11.8.2　周波数と整合器…180
　　11.8.3　自己バイアス電圧…181
　　11.8.4　等価回路とイオンさや電圧…181
　　11.8.5　放電維持機構…183
　　11.8.6　プラズマ電位…184
12.　アーク放電
12.1　概説…186
12.2　アーク放電の発生…186
12.3　陰極降下部…187
　　12.3.1　熱陰極アーク…187
　　12.3.2　冷陰極アーク…188
　　12.3.3　水銀陰極アーク…188
12.4　陽光柱…189
12.5　陽極降下領域…192
12.6　高気圧アークの電圧・電流特性…193
12.7　真空アーク…193
13.　プラズマ
13.1　概説…196
13.2　プラズマの基本的性質…196
　　13.2.1　プラズマの電離度…196
　　13.2.2　プラズマの密度と温度…197
　　13.2.3　デバイ距離…197
　　13.2.4　プラズマ振動…199
13.3　プラズマの発生…201
　　13.3.1　グロー放電プラズマ…201
　　13.3.2　パルス放電プラズマ…202
　　13.3.3　アフターグロープラズマ…202
　　13.3.4　アーク放電プラズマ…202
　　13.3.5　高周波放電プラズマ…202
　　13.3.6　熱電離プラズマ…203
　　13.3.7　衝撃波プラズマ…203
13.4　プラズマの診断…204
14.　放電・プラズマの応用
14.1　概説…207
14.2　照明用放電管…207
　　14.2.1　蛍光灯…207
　　14.2.2　高圧水銀ランプ…209
　　14.2.3　メタルハライドランプ…210
　　14.2.4　ナトリウムランプ…212
　　14.2.5　キセノンランプ…213
14.3　ガスレーザ…214
　　14.3.1　レーザ光の特色…214
　　14.3.2　光の放出と吸収…214
　　14.3.3　誘導放出…215
　　14.3.4　反転分布…215
　　14.3.5　レーザの構成要素と増幅・発振…216
　　14.3.6　He・Neガスレーザ…217
14.4　プラズマディスプレイ…219
　　14.4.1　交流放電形プラズマディスプレイ…219
　　14.4.2　直流放電形プラズマディスプレイ…220
14.5　プラズマプロセッシング…221
　　14.5.1　プラズマCVD…221
　　14.5.2　プラズマ重合…222
14.6　プラズマ溶射…223
14.7　スパッタ技術…224
　　14.7.1　スパッタ作用…224
　　14.7.2　スパッタ率…224
　　14.7.3　スパッタ装置…226
参考文献…227
索引…228