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書籍詳細

  光計測のニーズとシーズ

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発行年月日:1987/07/15 , 判 型: A5,  ページ数:396頁

ISBN:978-4-339-03133-1,  定 価:5,940円 (本体5,500円+税)

光技術の応用による計測の手法と用途は,レーザの発明以来めざましく発展・拡大している。本書はその技術を多角的にとらえ,また情報として最先端のものを平易に記述し,利用しやすいマニュアルにまとめた。

【目次】

1. シーズ編
 1. 干渉計測
  1.1 はじめに
  1.2 干渉の物理
   1.2.1 ヤングの実験と空間的コヒーレンス
1. シーズ編
 1. 干渉計測
  1.1 はじめに
  1.2 干渉の物理
   1.2.1 ヤングの実験と空間的コヒーレンス
   1.2.2 マイケルソンの干渉計と時間的コヒーレンス
   1.2.3 薄層による干渉
  1.3 各種干渉計
   1.3.1 二光束干渉計
   1.3.2 多光束干渉計
  1.4 共通光路干渉計
   1.4.1 シェアリング干渉計
   1.4.2 点回折干渉計
   1.4.3 拡散板干渉計
  1.5 干渉縞の高精度自動解析法
  1.6 おわりに
 参考文献
 2. ホログラフィ計測
  2.1 はじめに
  2.2 ホログラフィの原理と種類
  2.3 ホログラフィ用のハードウェア
   2.3.1 ホログラフィ用レーザ光源
   2.3.2 光学部品
   2.3.3 ホログラフィ用感光材
   2.3.4 除震装置
  2.4 三次元再生を利用した計測
   2.4.1 高速度現象の記録
   2.4.2 粒子のサイズ、形状、位置の計測
   2.4.3 ホログラフィ干渉
  2.5 おわりに
 参考文献
 3. スペックル応用計測
  3.1 はじめに
  3.2 スペックルの基本的性質
   3.2.1 統計性
   3.2.2 面の微視的構造からの独立性
   3.2.3 明りょう性
   3.2.4 細かさの可変性
   3.2.5 粗面の動きによる移動
   3.2.6 移動に伴う変形
  3.3 スペックル応用計測の分野
  3.4 変位・変形の測定
   3.4.1 概観
   3.4.2 スペックル干渉法
   3.4.3 スペックル写真法
   3.4.4 スペックル相関法
  3.5 スペックル法の特徴と問題点
  3.6 おわりに
 参考文献
 4. 偏光解析法
  4.1 はじめに
  4.2 偏光の基礎
  4.3 測定原理
  4.4 測定方法
   4.4.1 消光法
   4.4.2 回転検光子法
  4.5 装置および調整
  4.6 応用
  4.7 おわりに
 参考文献
 5. 分光計測法
  5.1 はじめに
  5.2 種々の分光法
   5.2.1 吸光分光
   5.2.2 発光分光
   5.2.3 蛍光分光
   5.2.4 ラマン分光
   5.2.5 その他の分光法
  5.3 分光用光源
   5.3.1 レーザ
   5.3.2 レーザ以外の光源
  5.4 レーザ分光計測
   5.4.1 CARSによる温度等の計測
   5.4.2 半導体レーザによる濃度計測
  5.5 おわりに
 参考文献
 6. 光音響映像法
  6.1 はじめに
  6.2 歴史的背景
  6.3 基礎原理
  6.4 測定装置
  6.5 測定例および応用例
  6.6 おわりに
 参考文献
 7. 光ファイバ利用計測
  7.1 はじめに
  7.2 光ファイバの基礎
   7.2.1 光ファイバの基本構成
   7.2.2 単一モードファイバ
  7.3 光ファイバ自体をセンサとするファイバセンサ
   7.3.1 温度センサ
   7.3.2 圧力・音波・ひずみ・振動センサ
   7.3.3 ファイバジャイロ
   7.3.4 磁界、電流
   7.3.5 濃度・成分・液位センサ
   7.3.6 像・光
  7.4 光ファイバを伝送線として利用するファイバセンサ
   7.4.1 温度センサ
   7.4.2 圧力・音波・加速度センサ
   7.4.3 速度・流量センサ
   7.4.4 電流・磁界、電圧・電界
   7.4.5 成分、濃度
   7.4.6 その他のセンサ
  7.5 おわりに
 参考文献
 8. 半導体レーザの利用法
  8.1 はじめに
  8.2 半導体レーザの基礎と種類
  8.3 半導体レーザの特性
   8.3.1 出力特性
   8.3.2 変調特性
   8.3.3 偏光特性
   8.3.4 幾何光学特性
  8.4 モードの性質と使用法
   8.
4.1 横モード特性とその取扱い
   8.4.2 縦モード特性
  8.5 おわりに
 参考文献
 9. 半導体レーザを利用した縞走査干渉法
  9.1 はじめに
  9.2 半導体レーザの発振波長偏移の測定
  9.3 縞走査干渉法の原理
  9.4 測定法
  9.5 おわりに
 参考文献
2. ニーズ編
 1. 長さ計測
  1.1 はじめに
  1.2 干渉縞計数法
   1.2.1 測定原理
   1.2.2 干渉計の種類
   1.2.3 光学系の配置法
  1.3 多波長法
   1.3.1 測定原理
   1.3.2 干渉計の種類
   1.3.3 光学系の配置法
  1.4 誤差要因と補正
   1.4.1 温度
   1.4.2 回折
   1.4.3 空気の屈折率
   1.4.4 大気のゆらぎ
  1.5 おわりに
 参考文献
 2. 距離計測
  2.1 はじめに
  2.2 光パルスによる測距
   2.2.1 原理
   2.2.2 装置と特性
  2.3 振動変調波による測距
   2.3.1 原理
   2.3.2 測距装置の構成
   2.3.3 反射鏡
   2.3.4 誤差要因
   2.3.5 装置と特性
   2.3.6 応用例
  2.4 おわりに
 参考文献
 3. 変位計測
  3.1 はじめに
  3.2 直線変位計測
   3.2.1 3次元振動変位計
   3.2.2 電子光学式変位計
   3.2.3 光ファイバ式変位計
   3.2.4 半導体位置検出素子
  3.3 角度変位計測
   3.3.1 バーニア式アブソリュートエンコーダ
   3.3.2 干渉式エンコーダ
   3.3.3 干渉式角度計
  3.4 おわりに
 参考文献
 4. 振動計測
  4.1 はじめに
  4.2 時系列的振動測定
   4.2.1 ドップラー効果の利用
   4.2.2 光ヘテロダインの利用
   4.2.3 光ホモダインの利用
   4.2.4 コヒーレント光プローブの利用
   4.2.5 インコヒーレント光プローブの利用
  4.3 空間的振動パターンの測定
   4.3.1 ホログラフィー干渉の利用
   4.3.2 スペックル干渉の利用
   4.3.3 スペックル写真法の利用
   4.3.4 モアレ法の利用
   4.3.5 その他の方法
  4.4 おわりに
 参考文献
 5. 流体計測
  5.1 はじめに
  5.2 流速計測および流速場の可視化
   5.2.1 レーザドップラー法
   5.2.2 レーザ二焦点流速計
   5.2.3 光相関法
   5.2.4 スペックル写真法
   5.2.5 光化学反応法
   5.2.6 その他
  5.3 密度計測および密度場の可視化
   5.3.1 シャドウグラフ法
   5.3.2 シュリーレン法
   5.3.3 マッハチェンダー干渉法
   5.3.4 ホログラフィー法
   5.3.5 その他
  5.4 おわりに
 参考文献
 6. 形状計測(非干渉法)
  6.1 はじめに
  6.2 形状計測技術
  6.3 点計測法
  6.4 線計測法
  6.5 面計測法
  6.6 形状計測の一実施例
  6.7 おわりに
 参考文献
 7. 非球面計測
  7.1 はじめに
  7.2 各種測定方法
   7.2.1 測定方法の分類
   7.2.2 直接形状測定法
   7.2.3 光波面測定法
   7.2.4 ヌルテスト法
  7.3 コンピュータホログラム法
   7.3.1 概要
   7.3.2 コンピュータホログラムの作成方法
   7.3.3 測定結果例
  7.4 縞走査位相検出法による非球面測定
   7.4.1 装置
   7.4.2 測定アルゴリズム
   7.4.3 測定方結果例
  7.5 おわりに
 参考文献
 8. 粗さ計測
  8.1 はじめに
  8.2 光の散乱角度分布を利用した粗さ測定法
   8.2.1 全散乱光検出形粗さ計
   8.2.2 差動形光散乱粗さ計
   8.2.3 光散乱方式インプロセス粗さ測定
  8.3 光の干渉を利用した粗さ測定法
   8.3.1 FECO干渉粗さ計
   8.3.2 ヘテロダイン干渉粗さ計
   8.3.3 干渉式プロフィロメータ
  8.4 焦点検出法による粗さ測定
   8.4.1 非点収差法
   8.4.2 ナイフエッジ法
   8.4.3 臨界角法
  8.
5 おわりに
 参考文献
 9. 燃焼計測
  9.1 はじめに
  9.2 流速
   9.2.1 レーザドップラー流速計
   9.2.2 ふく射強度相関法
  9.3 温度と濃度
   9.3.1 レイリー散乱法
   9.3.2 ラマン散乱法
   9.3.3 CARS
  9.4 粒子
   9.4.1 噴霧粒子
   9.4.2 すす微粒子
  9.5 画像計測
   9.5.1 乱流火炎面形状
   9.5.2 噴流内の濃度分布
   9.5.3 ホログラフィ干渉法
   9.5.4 輝炎の温度分布
   9.5.5 LIF
   9.5.6 噴霧
   9.5.7 火炎内すすの可視化
  9.6 おわりに
 参考文献
3. 産業分野における光反応用計測編
 1. 光学素子検査への応用
  1.1 はじめに
  1.2 光学材料の検査
  1.3 鏡の検査
   1.3.1 曲率半径および球面度の検査
   1.3.2 平面度の検査
   1.3.3 非球面形状仕上り度の検査
   1.3.4 表面仕上り度検査
   1.3.5 反射率の測定
  1.4 レンズの検査
   1.
4
.1 非球面度
   1.4.2 焦点距離の測定
   1.4.3 偏心検査
   1.4.4 球面度の強い球面測定
   1.4.5 きず検査
  1.5 その他(プリズム、回折格子などの検査)
   1.5.1 平行度、角度の測定
   1.5.2 グレーティングの測定
   1.5.3 透過率、その他特殊な特性の検査
  1.6 おわりに
 参考文献
 2. 光ファイバの構造、伝送特性測定
  2.1 はじめに
  2.2 光ファイバの主要測定項目
  2.3 屈折率分布測定
   2.3.1 干渉顕微鏡法
   2.3.2 XMA法
   2.3.3 散乱、回折パターン法
   2.3.4 ニアフィールドパターン法
   2.3.5 反射法
  2.4 単一モード光ファイバの分散測定
   2.4.1 光ファイバの伝送帯域特性
   2.4.2 分散測定法
   2.4.3 干渉法による分散測定
  2.5 おわりに
 参考文献
 3. 光技術の電力機器への応用
  3.1 はじめに
  3.2 温度計測
   3.2.1 放射赤外線を検出する温度計
   3.2.2 ホトルミネッセンスを利用した温度計
   3.2.3 その他の光温度計
  3.3 電流、磁界の計測
  3.4 電界の計測
  3.5 その他
  3.6 おわりに
 参考文献 
 4. プリント板パターンの検査技術
  4.1 はじめに
  4.2 プリント配線板製造工程の概要
  4.3 プリント配線板の検査方式
  4.4 プリント配線板外観検査技術
  4.5 パターン検知技術
   4.5.1 普通光照明方式
   4.5.2 レーザ光照明方式
  4.6 検査論理
   4.6.1 デザインルール方式 
   4.6.2 パターン比較方式
  4.7 検査装置の構成例
  4.8 検査結果
  4.9 おわりに
 参考文献
 5. 精密機器への応用
  5.1 はじめに
  5.2 光ファイバを用いた粗さ測定
   5.2.1 測定原理
   5.2.2 理論解析
   5.2.3 実験的解析
   5.2.4 中心線平均粗さRaへの変換
   5.2.5 本システムの実加工面への適用性
   5.2.6 光ファイバを用いた非接触粗さ計
   5.2.7 本システムのまとめ
  5.3 形状測定におけるレーザ走査形外径測定機の応用
   5.3.1 レーザ走査形外径測定機の原理
   5.3.2 形状測定システムへの応用
  5.4 おわりに
 参考文献
 6. ロボットへの応用
  6.1 はじめに
  6.2 ロボットセンサと光計測技術
  6.3 視覚センサ
  6.4 近接覚センサ
  6.5 触覚センサ
  6.6 おわりに
 参考文献
 7. 鉄鋼業への応用
  7.1 はじめに
  7.2 温度測定
   7.2.1 高温炉内鋼材の測温法
   7.2.2 温度と放射率の同時測定法
   7.2.3 光ファイバ走査による連鋳鋼片温度分布測定
  7.3 熱間形状測定
   7.3.1 パルスレーザによる高炉装入物の表面形状測定
   7.3.2 レーザモアレ法による熱間鋼材形状測定
  7.4 探傷技術
  7.5 その他
  7.6 おわりに
 参考文献
 8. 自動車の形状計測
  8.1 はじめに
  8.2 外形および室内形状測定
  8.3 外形測定システム
   8.3.1 測定原理
   8.3.2 測定システム
   8.3.3 機能・性能
  8.4 室内測定システム
   8.4.1 測定原理
   8.4.2 基本機能
   8.4.3 システム構成
   8.4.4 機能・性能
  8.5 おわりに
 参考文献
 9. 印刷プロセス制御への応用
  9.1 はじめに
  9.2 印刷プロセスの概略
  9.3 階調再現特性と高計測技術
  9.4 インキ制御系での光計測技術
  9.5 インキ転送系における光計測技術
  9.6 形成画像評価・検査のための光計測技術
  9.7 おわりに
 参考文献
索引

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