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書籍詳細

  荷電粒子ビーム工学

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石川順三 京大名誉教授・中部大教授 工博 著

発行年月日:2001/05/18 , 判 型: A5,  ページ数:312頁

ISBN:978-4-339-00734-3,  定 価:4,320円 (本体4,000円+税)

ジャンル:

電子とイオンの発生,ビーム輸送・操作,ビームと固体表面相互作用に関する基礎現象を解説するとともに,荷電粒子ビームの工学応用として,電子ビーム微細加工技術,イオンビーム材料プロセス技術,超高周波電子管について概説。

【目次】

1.荷電粒子ビームの特質と利用形態
 1.1 電子ビームの特質と利用形態
  1.1.1 真空中の電子と固体中の電子の違い
  1.1.2 高速・高密度エネルギー輸送源
  1.1.3 微細加工・分析ツール
1.荷電粒子ビームの特質と利用形態
 1.1 電子ビームの特質と利用形態
  1.1.1 真空中の電子と固体中の電子の違い
  1.1.2 高速・高密度エネルギー輸送源
  1.1.3 微細加工・分析ツール
 1.2 イオンビームの特質と利用形態
  1.2.1 運動エネルギーと電離エネルギーの共存
  1.2.2 元素の非熱平衡的輸送
  1.2.3 材料プロセス
  1.2.4 分析ツール
 1.3 荷電粒子ビーム応用の展開

2.電子とイオン
 2.1 電子とイオンの属性
  2.1.1 イオン・原子の内部ポテンシャル構造
  2.1.2 加速エネルギーと速度,ドブロイ波長
 2.2 電子・イオンビームの気体相互作用
  2.2.1 デバイス寸法と真空
  2.2.2 気体分子との相互作用
 2.3 電子・イオンビームの空間電荷効果
  2.3.1 空間電荷制限電流
  2.3.2 ビームの発散

3.電子の発生とビーム形成
 3.1 電子源としての電子発生法
  3.1.1 熱電子放出
  3.1.2 熱陰極
  3.1.3 電界電子放出
  3.1.4 その他の電子放出
 3.2 電子ビームの形成
  3.2.1 ピアス型電子銃
  3.2.2 ビーム発散抑制法(ブリユアンの流れ)

4.イオンの発生とビーム形成
 4.1 イオン源プラズマにおけるイオンの発生
  4.1.1 電離衝突によるイオン源プラズマの生成
  4.1.2 体積生成による負イオンの発生
 4.2 表面効果法によるイオンの発生
  4.2.1 電界蒸発による正イオンの発生
  4.2.2 二次負イオン放出による負イオンの発生
 4.3 プラズマからのイオンの引出しとビーム形成
  4.3.1 イオン飽和電流
  4.3.2 最適イオンビームの引出し
  4.3.3 多孔電極引出し

5.ビーム輸送と操作
 5.1 電磁界レンズ
  5.1.1 静電レンズ
  5.1.2 磁界レンズ
 5.2 電磁界偏向
  5.2.1 静電偏向
  5.2.2 電磁偏向
 5.3 質量分離・分析
  5.3.1 扇形磁石による質量分離
  5.3.2 直交電磁界を用いた質量分離
 5.4 加速と減速
  5.4.1 静電加速
  5.4.2 高周波加速
  5.4.3 減速法
 5.5 エミッタンスと輝度
  5.5.1 エミッタンスと輝度の定義
  5.5.2 空間電荷中和とエミッタンス

6.ビームと固体原子の相互作用
 6.1 電子ビームと固体原子の相互作用
  6.1.1 飛程とエネルギーの伝達
  6.1.2 物理現象と化学現象
 6.2 イオンビームと固体原子の相互作用
  6.2.1 弾性衝突による飛程とエネルギー伝達の概要
  6.2.2 イオンの注入現象
  6.2.3 スパッタリング現象
  6.2.4 イオンビームの蒸着現象

7.高周波エネルギー変換デバイス
 7.1 走行時間制約型デバイス
  7.1.1 格子制御管
  7.1.2 極微真空管
 7.2 電子ビームの弾道性を利用した超高周波電子管
  7.2.1 速度変調管
  7.2.2 進行波管
  7.2.3 マグネトロン
  7.2.4 ジャイロトロン

8.荷電粒子ビーム装置
 8.1 電子ビーム装置
  8.1.1 電子ビーム熱処理装置
  8.1.2 電子ビーム非熱処理装置
  8.1.3 電子ビーム分析装置
  8.1.4 撮像管,表示管,光電子増倍管,二次電子増倍管
 8.2 イオンビーム装置
  8.2.1 イオン注入装置
  8.2.2 イオンビーム加工装置
  8.2.3 イオンビーム蒸着装置
  8.2.4 イオンビームによる分析と装置

参考文献
索引

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