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書籍詳細

  真空科学ハンドブック

発行年月日:2018/03/30 , 判 型: B5,  予定ページ数:592頁

ISBN:978-4-339-00908-8,  定 価:-円 (本体-円+税)

ジャンル:

真空の基礎科学から作成・計測・保持する技術に関わる科学的基礎を解説。また、成膜,プラズマプロセスなどの応用分野で真空環境の役割を説き、極高真空などのこれまでにない真空環境が要求される研究・応用への取組みなどを紹介。

在庫は時期によりまして変動することがございますので、ご了承ください。