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書籍詳細

  ビジュアル真空技術

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平谷雄二 広島国際大教授 博士(工学) 著

発行年月日:2001/10/15 , 判 型: A5,  ページ数:206頁

ISBN:978-4-339-00736-7,  定 価:2,916円 (本体2,700円+税)

真空技術は,基礎技術者だけでなく,半導体デバイスや光学薄膜の作製などに欠くことのできない技術である。本書は著者のモットーである「物理現象は絵に描けなければならない」にのっとり,真空技術の基本をビジュアルに解説した。

【目次】

I編 装置のメカニズム

 1. 真空ポンプ
  1.1 真空ポンプの排気速度って何? 3
  1.2 真空ポンプには気体を引き込む力はない? 3
I編 装置のメカニズム

 1. 真空ポンプ
  1.1 真空ポンプの排気速度って何? 3
  1.2 真空ポンプには気体を引き込む力はない? 3
  1.3 真空領域とは 5
  1.4 真空ポンプのラインアップ 9
   1.4.1 ロータリーポンプ 13
   1.4.2 油拡散ポンプ 15
   1.4.3 ターボ分子ポンプ 19
   1.4.4 イオンポンプとチタンサブリメーションポンプ 22
   1.4.5 クライオポンプ,ソープションポンプ 25
   1.4.6 補足事項 29

 2. 真空計
  2.1 動作原理による真空計の分類 36
  2.2 真空計の存在理由 37
  2.3 ブルドン管,バラトロン 41
   2.3.1 ブルドン管 42
   2.3.2 バラトロン 46
  2.4 熱電対真空計,ピラニ真空計 48
  2.5 B-Aゲージ(ワイドレンジB-Aゲージ,ヌードゲージ) 54
   2.5.1 気体をイオン化する理由 55
   2.5.2 圧力と指示値の関係 57
   2.5.3 電離真空計の感度 58
   2.5.4 電離真空計の見分け方 62
   2.5.5 指示値は何の圧力? 64

 3. 質量分析計
  3.1 設置場所が命の質量分析計 74
   3.1.1 真空蒸着装置 77
   3.1.2 スパッタ装置,ドライエッチング装置の場合 79
  3.2 マススペクトルはこう読め 80
   3.2.1 分子に電子が衝突すると何が起きるか? 81
   3.2.2 マススペクトルの縦軸と横軸の意味 86
  3.3 質量分析計購入ガイド 92
  3.4 例題集 94


II編 真空技術の基本公式

 4. PV=nRT
  4.1 PV=nRTの大前提 98
   4.1.1 気体の密度 99
  4.2 PV=nRTを使いこなす 104
   4.2.1 真空装置の排気特性 104

 5. 平衡蒸気圧
  5.1 平衡状態と定常状態 120
   5.1.1 平衡蒸気圧 120
   5.1.2 真空装置の圧力 121
  5.2 平衡蒸気圧を使う 122
   5.2.1 他の相が1種類の物質からなる場合 123
   5.2.2 気相以外の相が,よく混ざり合う複数の物質より成り立っている場合 154

 6. 気体の衝突頻度J=NV/4
  6.1 式を身近な単位で表現しよう 160
  6.2 真空ポンプの排気速度の謎を解く 163
  6.3 式を大ざっぱに誘導しよう 166
   6.3.1 式誘導のためのモデル 166

 7. 愛のごとき物質の変化
  7.1 愛は出会いから始まる 169
  7.2 愛を実らすのは情熱 170
  7.3 愛の実験式 171
付録…174
 A. 圧力 174
 B. 流量 175
 C. 元素の蒸発に関するデータ 177
 D. 便利な公式 178
 E. 定数,換算など 181
 F. マススペクトル 182
ブックガイド…184
あとがきにかえて…188
索引…191

在庫は時期によりまして変動することがございますので、ご了承ください。