科学技術と共に歩む

超精密シリーズ 2

超精密加工技術

• 日本機械学会 編
• 塚田 忠夫 編
• 石川 聖 編
• 角田 和雄 編
• 中沢 弘 編
• 中村 哲夫 編
• 原田 達男 編
• 和田 龍児 編・著
• 鈴木 弘 著
• 住谷 充夫 著
• 上田 勝宣 著
• 土肥 俊郎 著
• 伊藤 正治 著
• 森 勇蔵 著
• 山内 和人 著
• 遠藤 勝義 著
• 東条 徹 著
• 関根 誠 著
• 後藤 隆司 著

21世紀のリーディングテクノロジーである情報通信機器の製造に不可欠なナノメートルオーダの，超精密加工技術の基盤となる要素技術，計測制御技術，加工技術などを総合的に記述し，最先端の応用事例を網羅している。

超精密シリーズ 4

超精密形状計測技術

• 日本機械学会 編

機械加工面の表面形状を高精度に計測するため，まず超精密計測の基本的考え方と表面形状計測の基礎を述べ，微細形状計測における光学的手法と触針法による技術・適用，また表面プロフィール計測干渉法と三次元測定機技術を解説した。

超精密シリーズ 1

超精密システムの設計技術

• 日本機械学会 編
• 塚田 忠夫 編
• 石川 聖 編
• 角田 和雄 編・著
• 中沢 弘 編
• 中村 哲夫 編
• 原田 達男 編
• 和田 龍児 編
• 宮下 政和 ナノテック研究所 著
• 金井 彰 足利工大准教授 著
• 大田 眞土 著
• 加賀 敬悦 著
• 笠井 進一 著
• 玉置 明 著
• 木下 博雄 著
• 田中 克敏 著
• 荒井 正敏 著
• 兼田 雄司 著
• 原田 達男 著
• 佐藤 勇武 著
• 柿崎 隆夫 著
• 大久保 俊文 著
• 角田 義人 著
• 原 文夫 著

超精密な運動をする機械システム，機構，要素の設計および制御の原理と技術，また，その応用例として位置決めテーブル，加工機，計測機，システム製品の設計と制御についての理論と実際を詳細に述べた。