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書籍詳細

超精密シリーズ 4)

  超精密形状計測技術

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発行年月日:1996/12/10 , 判 型: A5,  ページ数:186頁

ISBN:978-4-339-04414-0,  定 価:2,916円 (本体2,700円+税)

ジャンル:

機械加工面の表面形状を高精度に計測するため,まず超精密計測の基本的考え方と表面形状計測の基礎を述べ,微細形状計測における光学的手法と触針法による技術・適用,また表面プロフィール計測干渉法と三次元測定機技術を解説した。

【目次】

1 超精密計測の基本的概念
1.1 センサのとらえ方,考え方
1.2 情報量
  1.2.1 検出される情報量
  1.2.2 データ数と情報量
1 超精密計測の基本的概念
1.1 センサのとらえ方,考え方
1.2 情報量
  1.2.1 検出される情報量
  1.2.2 データ数と情報量
1.3 観察と計測
1.4 測定の精度
1.5 試料の誤差の評価
  1.5.1 位置度の評価
  1.5.2 輪郭の評価
1.6 環境制御,特殊環境
1.7 超精密計測の技術動向と将来
引用・参考文献
2 光学的手法による表面微細形状計測技術
2.1 表面粗さ測定装置TOPO
  2.1.1 はじめに
  2.1.2 TOPOシステムの概要
  2.1.3 測定原理(位相シフト干渉法)
  2.1.4 測定精度と測定の再現性
  2.1.5 内部参照面の影響とその除去
  2.1.6 横分解能
  2.1.7 角度制限と画素間許容段差
  2.1.8 多波長測定
  2.1.9 測定面反射による位相変化
  2.1.10 バーチカルスキャン法とRSTの誕生
  2.1.11 RSTシステム概要とその特長
  2.1.12 むすび
2.2 高精度非接触レーザマイクロスコープMAXIM 3D
  2.2.1 はじめに
  2.2.2 MAXIM 3Dの特長
  2.2.3 MAXIM 3Dの構成と仕様
  2.2.4 光学系システムと測定原理
  2.2.5 干渉方式による問題点とその対策
  2.2.6 MAXIM 3Dを用いた測定例
2.3 三次元表面構造解析顕微鏡NewView-100
  2.3.1 はじめに
  2.3.2 走査形白色干渉法の原理
  2.3.3 システムの仕様と特長
  2.3.4 アプリケーション
2.4 超高精度非接触表面粗さ計HPI-5500
  2.4.1 はじめに
  2.4.2 本システムの原理
  2.4.3 システムの仕様と測定サンプル
  2.4.4 むすび
引用・参考文献
3 触針法による表面微細形状計測技術
3.1 はじめに
3.2 触針式測定機の測定原理とその特徴
  3.2.1 直線式差動トランス変換方式
  3.2.2 てこ式差動トランス変換器
  3.2.3 てこ式レーザ干渉計方式変換器
3.3 測定項目
  3.3.1 断面形状
  3.3.2 粗さ
  3.3.3 うねり
3.4 触針法の校正手法
3.5 むすび
引用・参考文献
4 非球面形状計測技術
4.1 はじめに
4.2 非球面の干渉測定法
  4.2.1 基準非球面を用いた非球面検査法
  4.2.2 計算機ホログラムを用いた非球面の検査
  4.2.3 しま走査シェアリング干渉法
  4.2.4 ロンキーテスト
4.3 干渉計による非球面測定における注意点
4.4 触針子による非球面の検査
  4.4.1 機械的触針子
  4.4.2 光学的プローブ法
4.5 むすび
引用・参考文献
5 三次元測定機による形状計測技術
5.1 はじめに
5.2 三次元測定機とは
  5.2.1 従来の形状計測
  5.2.2 三次元測定機
  5.2.3 三次元測定機の効果
5.3 三次元測定機の形式
  5.3.1 三次元測定機の構成
  5.3.2 三次元測定機本体の形式
  5.3.3 プローブ
  5.3.4 各軸移動量の測定・表示装置
5.4 三次元測定機とコンピュータ
  5.4.1 コンピュータの役割
  5.4.2 データ処理ソフトウェア
5.5 三次元測定機の精度
  5.5.1 三次元測定機の誤差要因
  5.5.2 三次元測定機の精度評価と表示
  5.5.3 その他の測定法
5.6 三次元測定機による測定の特殊性
  5.6.1 寸法の測定
  5.6.2 幾何偏差の測定
5.7 三次元測定機の今後
  5.7.1 高精度化,高速化
  5.7.2 自動化
引用・参考文献
6 SPMによる超精密形状計測技術
6.1 はじめに
6.2 超精密加工の進展と走査形プローブ顕微鏡の適用
6.3 プローブ顕微鏡の種類と特徴
6.4 走査形プローブ顕微鏡の原理と測定例
  6.4.1 STM
  6.4.2 AFM
  6.4.3 MFM
  6.4.4 FFM
  6.4.5 VE-AFM
6.5 プローブ顕微鏡装置と測定例
6.6 今後の展開
  6.6.1 探針形状の先鋭化
  6.6.2 測定位置の特定
  6.6.3 測定精度の向上
6.7 むすび
引用・参考文献
7 レーザ干渉測長器の波長校正
7.1 はじめに
7.2 メートルの定義と光波干渉技術
7.3 メートルの定義の実現
7.4 波長基準レーザ
7.5 ヨウ素吸収線安定化He-Neレーザ
7.6 波長校正装置
7.7 市販レーザ干渉測長機
7.8 波長校正結果
  7.8.1 中心波長値
  7.8.2 波長安定度
  7.8.3 予熱時間
  7.8.4 光軸変動
7.9 長さのトレーサビリティ体系
引用・参考文献
索引

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