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書籍詳細

  熱刺激電流による電気電子材料評価
- 基礎と応用 -

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岩本光正 東工大教授 工博 著

田口大 東工大助教 博士(工学) 著

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発行年月日:2014/12/26 , 判 型: A5,  ページ数:192頁

ISBN:978-4-339-00869-2,  定 価:3,240円 (本体3,000円+税)

ジャンル:

熱刺激電流(thermally stimulated current;TSC)について,今後期待されるTSC解析・計測技術という視点から,あらためてTSCの根本原理に立ちもどり,その基礎と応用についてまとめた。

【目次】

1. TSCの基礎
1.1 TSC測定の原理
1.2 TSC測定の再現性と測定試料
1.3 TSCは何を測定しているか
1.4 フィルタリングによる物理現象の識別
1. TSCの基礎
1.1 TSC測定の原理
1.2 TSC測定の再現性と測定試料
1.3 TSCは何を測定しているか
1.4 フィルタリングによる物理現象の識別
引用・参考文献
章末問題

2. 双極子によるTSC
2.1 双極子と双極子分極
2.2 双極子分極の形成
2.2.1 自由回転モデル
2.2.2 束縛回転モデル
2.3 双極子分極の脱分極
2.4 緩和時間とモデル
2.4.1 自由回転モデル
2.4.2 束縛回転モデル
2.5 TSC
2.5.1 TSCの発生原理とTSC
2.5.2 TSC測定
2.6 TSC解析方法の基礎
2.6.1 初期分極量,残留分極量の測定
2.6.2 活性化エネルギーの決定
2.6.3 緩和時間の測定
2.7 TSCの特徴
2.8 双極子分極が分布する場合のTSC評価
2.8.1 部分TSC法
2.8.2 サンプリングTSC
2.8.3 Curve fitting法
引用・参考文献
章末問題

3. バルクトラップ電荷の空間分布
3.1 キャリヤ注入とI-V特性
3.2 トラップ電荷とTSC測定
3.2.1 トラップ電荷−qの移動と計測される電荷量
3.2.2 トラップ電荷がρ(x)<0で分布している場合に計測される電荷量
3.3 トラップ解放電荷の移動方向と観測される電荷量
3.3.1 −qの電荷の移動
3.3.2 ρ(x)<0の電荷の移動
3.3.3 ポテンシャル分布とキャパシタモデル
3.4 閉回路電流の流れと零電界位置の移動
3.5 キャリヤ移動方向の制御と閉回路電流
3.5.1 コレクティング電圧Vcを印加する方法
3.5.2 ブロッキング層を挿入する方法
3.5.3 表面電位を計測する方法
引用・参考文献
章末問題

4. バルクトラップのエネルギー
4.1 トラップキャリヤの解放とキャリヤ輸送
4.1.1 τd<τtの場合のTSC
4.1.2 τd>τtの場合のTSC
4.2 バルクトラップのモデルとTSC
4.2.1 slow retrapping
4.2.2 fast retrapping
4.2.3 外部高電界下でのプロセス
4.3 TSCピーク温度とトラップエネルギー
4.3.1 slow retrappingの場合
4.3.2 fast retrappingの場合
4.4 離脱周波数νと活性化エネルギー
4.5 空間電荷電界とTSC
引用・参考文献
章末問題

5. 界面電荷のTSC
5.1 界面電荷とマックスウェル・ワグナー効果
5.1.1 誘電率と導電率で決まる材料の緩和時間
5.1.2 界面電荷蓄積とマックスウェル・ワグナー効果
5.2 界面電荷とTSC
5.2.1 マックスウェル・ワグナー効果と2層誘電体の充放電
5.2.2 界面電荷の解放と短絡電流
5.3 MIS構造素子の界面準位とTSC
 ■ TSC
5.4 界面エネルギー準位
5.5 熱刺激表面電位法による解析方法
引用・参考文献
章末問題

6. イオン電荷のTSC
6.1 イオンホッピングモデル
6.2 イオン空間電荷分極
引用・参考文献
章末問題

7. 界面膜の変位電流と自発分極
7.1 自発分極と変位電流
7.2 界面分子膜の自発分極と変位電流
7.3 TOF法
7.3.1 光パルスを用いたTOF法
7.3.2 e-TOF法と電界誘起光第2次高調波法(EFISHG法)
引用・参考文献
章末問題
章末問題解答
索引

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