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表面技術協会 編 / 関口敦 著 / 杉村博之 著 / 小田昭紀 著 / 中村圭二 著 / 井上泰志 著 / 大工原茂樹 著 / 渡部修一 著 / 梅村茂 著 / 坂本幸弘 著 / 川名淳雄 著 / 黒田聖治 著 / 尾形聡 著 / 矢嶋龍彦 著 / 節原裕一 著 / 光田好孝 著 / 馬場恒明 著 / 國次真輔 著 / 三浦健一 著 / 田中一平 著 / 石原正統 著 / 亀山哲也 著 / 稲垣雅彦 著 / 堀勝 著 / 田中宏昌 著
「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎」の応用編。第Ⅰ編「ドライプロセスの基盤技術」および第Ⅱ編「ドライプロセスの応用」から構成され，研究現場や製造現場で的確にドライプロセスが実施できるよう工夫し解説した。
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