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著者 : 浦尾亮一で検索した結果、 【1件】見つかりました。
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表紙 書名(下線部をクリックすると詳細表示へ進みます)  定価   発行年月日 
ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

表面技術協会 編 / 明石和夫 著 / 杉村博之 著 / 坂本幸弘 著 / 井上泰志 著 / 中野武雄 著 / 大工原茂樹 著 / 柏木邦宏 著 / 草野英二 著 / 堀勝 著 / 石川健治 著 / 鷹野一朗 著 / 伊藤滋 著 / 馬場恒明 著 / 浦尾亮一 著 / 馬場茂 著 / 渡部修一 著 / 穂積篤 著

本書では,まずドライプロセスの歴史的発展過程にふれ,次にこれを支える基盤技術である「真空」「プラズマ」を解説。さらに,代表的なドライプロセスを取り上げ,どのような原理・原則に基づいているか,薄膜・表面評価分析技術について解説。

在庫あり

  3,024円 2013/05/20
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