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「著者:大工原 茂樹」検索結果

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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用

ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用

「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎」の応用編。第Ⅰ編「ドライプロセスの基盤技術」および第Ⅱ編「ドライプロセスの応用」から構成され,研究現場や製造現場で的確にドライプロセスが実施できるよう工夫し解説した。

  • 電子版あり
発行年月日
2016/12/28
定価
5,060(本体4,600円+税)
ISBN
978-4-339-04650-2
在庫あり
ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

本書では,まずドライプロセスの歴史的発展過程にふれ,次にこれを支える基盤技術である「真空」「プラズマ」を解説。さらに,代表的なドライプロセスを取り上げ,どのような原理・原則に基づいているか,薄膜・表面評価分析技術について解説。

  • 電子版あり
発行年月日
2013/05/20
定価
3,080(本体2,800円+税)
ISBN
978-4-339-04631-1
在庫あり
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