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「著者:生津 英夫」検索結果

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半導体・MEMSのための超臨界流体

半導体・MEMSのための超臨界流体

気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について,その特長と,乾燥,めっき,薄膜堆積,洗浄など,半導体・MEMSのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説した,超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。

  • 電子版あり
発行年月日
2012/09/28
定価
3,740(本体3,400円+税)
ISBN
978-4-339-00837-1
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