科学技術と共に歩む

ナノエレクトロニクスを支える材料解析

• 電子情報通信学会 編・発行
• 尾嶋 正治 編著
• 本間 芳和 編著

本書はナノエレクトロニクスを支える材料解析技術およびナノ加工技術について概説する。4種類の最先端プローブ（電子線，放射光，イオンビーム，STM）を用いた解析・加工技術に関し，原理，最新の解析例，今後の動向を解析した。