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「小ジャンル:電気・電子工学/半導体・デバイス・プロセス/デバイスプロセス」検索結果

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電気接触現象とその表面・界面 - 接触機構デバイスの基礎と応用 -

電気接触現象とその表面・界面 - 接触機構デバイスの基礎と応用 -

  • 玉井 輝雄 兵庫教育大名誉教授・元三重大大学院教授

電気接触現象は接触部材料、接触抵抗、放電現象、発熱、汚染気体や塵埃等の環境問題と非常に間口が広く、奥が深い。本書では,表面科学と接触抵抗を柱に据え,微弱電気条件から低電気条件までの範囲の接触部問題を中心に取り上げた。

  • 電子版あり
発行年月日
2019/05/23
定価
4,400(本体4,000円+税)
ISBN
978-4-339-00920-0
在庫あり
半導体・MEMSのための超臨界流体

半導体・MEMSのための超臨界流体

気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について,その特長と,乾燥,めっき,薄膜堆積,洗浄など,半導体・MEMSのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説した,超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。

  • 電子版あり
発行年月日
2012/09/28
定価
3,740(本体3,400円+税)
ISBN
978-4-339-00837-1
在庫あり
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