ナノエレクトロニクスを支える材料解析
本書はナノエレクトロニクスを支える材料解析技術およびナノ加工技術について概説する。4種類の最先端プローブ（電子線，放射光，イオンビーム，STM）を用いた解析・加工技術に関し，原理，最新の解析例，今後の動向を解析した。
- 発行年月日
- 1996/11/01
- 判型
- A5 上製
- ページ数
- 288ページ
- ISBN
- 978-4-88552-144-7
- 内容紹介
- 目次
本書はナノエレクトロニクスを支える材料解析技術およびナノ加工技術について概説する。4種類の最先端プローブ（電子線，放射光，イオンビーム，STM）を用いた解析・加工技術に関し，原理，最新の解析例，今後の動向を解析した。
ナノエレクトロニクスと材料解析／電子ビームによる材料解析／シンクロトロン放射光による材料解析／イオンビームによる材料解析／走査型プローブ顕微鏡による材料解析／まとめ
