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書籍詳細

メカトロニクス教科書シリーズ 10)

  超精密加工学

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丸井悦男 岐阜大名誉教授 工博 著

発行年月日:1997/09/10 , 判 型: A5,  ページ数:230頁

ISBN:978-4-339-04399-0,  定 価:3,240円 (本体3,000円+税)

ジャンル:

機械加工の革命ともいえる超精密加工について,基本的な事柄を解説した。超精密切削加工機,超精密切削用工具,超精密切削機構,超精密研削・研磨加工,加工精度および表面粗さの測定について従来の加工法と対比して説明した。

【目次】

1. 超精密加工の背景
1.1 工作機械の歴史
1.2 超精密加工とは
1.3 超精密加工法の種類
1.4 超精密切削,超精密研削加工が適用される加工
1. 超精密加工の背景
1.1 工作機械の歴史
1.2 超精密加工とは
1.3 超精密加工法の種類
1.4 超精密切削,超精密研削加工が適用される加工
1.5 超精密加工システムの技術的な基礎
  1.5.1 技術的な基礎
  1.5.2 加工環境
演習問題
2. 超精密切削加工機
2.1 工作機械の構造
2.2 超精密切削加工機の構造
2.3 超精密切削加工機の構造用材料
2.4 超精密切削加工機の構成要素
2.5 超精密切削加工機の主軸系
  2.5.1 油静圧軸受
  2.5.2 空気静圧軸受
  2.5.3 主軸の駆動方法
2.6 超精密切削加工機の送り系
  2.6.1 直動案内および駆動方法
  2.6.2 直動案内の構成と制御
2.7 微小切込み装置
2.8 被削材の取付け法
  2.8.1 円筒形状の被削材の取付け
  2.8.2 円板形状の被削材の取付け
2.9 作業環境
  2.9.1 空気環境
  2.9.2 温度環境
  2.9.3 振動環境
  2.9.4 工作物の変形の影響
  2.9.5 その他の環境
演習問題
3. 超精密切削加工用の工具
3.1 超精密切削のメカニズム
3.2 超精密切削加工用の工具に必要な性質
  3.2.1 刃先稜の鋭利さ
  3.2.2 切れ刃稜のなめらかさ
  3.2.3 被削材との親和性
  3.2.4 刃先の強度
  3.2.5 熱化学物性
  3.2.6 工具寿命
3.3 超精密切削加工に使用される工具材料
  3.3.1 単結晶ダイヤモンド
  3.3.2 立方晶窒化ほう素
  3.3.3 ダイヤモンド,立方晶窒化ほう素の焼結体
演習問題
4. 金属の切削機構
4.1 切削加工
4.2 切りくずの形態
  4.2.1 切りくずの分類
  4.2.2 構成刃先
4.3 切削抵抗
4.4 せん断面と切削抵抗
  4.4.1 せん断角
  4.4.2 単一せん断面モデルによる切削力の計算
  4.4.3 せん断角の理論
  4.4.4 せん断ひずみ
4.5 仕上げ面の粗さ
  4.5.1 確定因子
  4.5.2 不確定因子
4.6 切削温度
  4.6.1 せん断面における切削温度
  4.6.2 すくい面における切削温度
  4.6.3 切削温度の観察例
演習問題
5. 超精密切削機構
5.1 超精密切削加工に用いられる工具の切れ刃の形状
5.2 単結晶ダイヤモンドバイトの刃先の研磨とバイトシャンクヘの取付け
5.3 ダイヤモンドバイトによる仕上げ面の形成
  5.3.1 球面および非球面の切削加工
  5.3.2 鏡面加工
  5.3.3 微細加工
  5.3.4 回折格子の製作
5.4 ダイヤモンド工具の損傷
  5.4.1 ダイヤモンド工具による仕上げ面の形成と転写の乱れ
  5.4.2 ダイヤモンド工具の欠損
  5.4.3 ダイヤモンド工具の摩耗
  5.4.4 ダイヤモンド工具で切削したときの切削力
演習問題
6. 超精密研削加工および超精密研磨加工
6.1 研削加工と研磨加工
6.2 従来からの研削加工
6.3 ELID研削
  6.3.1 延性モード研削
  6.3.2 ELID研削のメカニズム
  6.3.3 ELID研削による鏡面の加工
6.4 従来方式の研磨加工
  6.4.1 ラッピング
  6.4.2 ポリシング
6.5 フロートポリシング
6.6 メカノケミカルポリシング
6.7 プラナリゼーション加工
6.8 電気泳動法による切断と研磨
  6.8.1 切断と研磨
  6.8.2 電気泳動法による超微粒砥石の製作
演習問題
7. 超精密加工のための測定技術
7.1 形状および位置の公差
  7.1.1 真直度
  7.1.2 平面度
  7.1.3 平行度
  7.1.4 直角度
  7.1.5 真円度
  7.1.6 円筒度
  7.1.7 同軸度,同心度
7.2 形状および位置の公差の機械的な検証方法
  7.2.1 真直度公差の検証
  7.2.2 平面度公差の検証
  7.2.3 平行度公差の検証
  7.2.4 直角度公差の検証
  7.2.5 真円度公差の検証
  7.2.6 円筒度公差の検証
  7.2.7 同軸度公差の検証
7.3 光学測定器による超精密測定
  7.3.1 オートコリメータによる測定
  7.3.2 光波干渉による長さの測定
演習問題
8. 表面粗さの評価
8.1 表面粗さとは
8.2 表面粗さの表示と規格
  8.2.1 算術平均粗さRa
  8.2.2 最大高さRy
  8.2.3 十点平均粗さRz
8.3 表面粗さの測定
  8.3.1 表面粗さの測定法
  8.3.2 触針式電気的表面粗さ測定機
  8.3.3 光波干渉による表面粗さの測定
  8.3.4 干渉じまの解析
  8.3.5 高精度の光波干渉による表面性状の測定
  8.3.6 光触針法による表面粗さの測定
  8.3.7 回折による表面粗さの測定
演習問題
引用・参考文献
演習問題の解答
索引

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