半導体集積回路

電子情報通信学会 大学シリーズ E-5

半導体集積回路

半導体集積回路工学の概念的な理解を助け,集積化の必要性,利点や,集積回路技術のこれからの傾向に対する認識が深まるように解説した。理工学系学部学生を対象としたシリコン集積回路技術に関する教科書として最適な書。

ジャンル
発行年月日
1995/10/20
判型
A5 上製
ページ数
164ページ
ISBN
978-4-339-00028-3
半導体集積回路
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定価

2,200(本体2,000円+税)

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半導体集積回路工学の概念的な理解を助け,集積化の必要性,利点や,集積回路技術のこれからの傾向に対する認識が深まるように解説した。理工学系学部学生を対象としたシリコン集積回路技術に関する教科書として最適な書。

1. 集積化技術
──集積回路とはなにか──
1.1 バイポーラ集積回路
1.2 MOS集積回路
  1.2.1 アルミニウムゲートpチャネルMOS集積回路
  1.2.2 シリコンゲートnチャネルMOS集積回路
  1.2.3 シリコンゲートCMOS集積回路
演習問題
2. 集積化の利点
──なぜ大規模集積化への努力がなされるのか──
2.1 小形化,軽量化
2.2 経済性
2.3 動作速度
2.4 信頼性
演習問題
3. 集積回路製作要素技術
──シリコン集積回路をつくるのにどんな技術が使われているか──
3.1 シリコンウェーハ
3.2 エピタキシアルウェーハ
3.3 酸化
3.4 絶縁膜と多結晶シリコン堆積
3.5 ドーパント拡散
3.6 イオン打込み
3.7 パターン描画
3.8 パターン転写
3.9 エッチング
演習問題
4. 集積回路の構成要素とその特性
──集積回路を構成するのに使われる部品はどんな特性をもっているか──
4.1 ダイオード
4.2 トランジスタ
  4.2.1 バイポーラトランジスタ
  4.2.2 MOS電界効果トランジスタ
4.3 抵抗器
  4.3.1 拡散層抵抗器
  4.3.2 多結晶シリコン膜およびトランジスタの利用
4.4 キャパシタ
  4.4.1 pn接合ダイオードキャパシタ
  4.4.2 MOSキャパシタ
  4.4.3 積重ね形キャパシタ
演習問題
5. ディジタル論理集積回路の基本的な構造と特性
──ディジタル論理集積回路はどんな回路の組合せでできているか──
5.1 バイポーラディジタル論理集積回路で使用される基本ゲート回路
  5.1.1 ショットキーダイオード付きトランジスタトランジスタ論理ゲート
  5.1.2 エミッタ結合形論理ゲート
5.2 MOSディジタル論理集積回路で使用される基本ゲート回路
5.3 CMOSディジタル論理集積回路で使用される基本ゲート回路
5.4 Bi CMOSディジタル論理集積回路で使用される基本ゲート回路
演習問題
6. ディジタルメモリ集積回路の基本的な構造と特性
──ディジタルメモリ集積回路にはどんな種類があるか──
6.1 MOSダイナミックメモリ集積回路
6.2 スタティックメモリ集積回路
6.3 読出し専用メモリと不揮発性メモリデバイス
  6.3.1 マスクROM
  6.3.2 不揮発性メモリデバイス
演習問題
7. アナログ集積回路の基本的な構造と特性
──アナログ回路の集積化のためにどんな回路構成がとられているか──
7.1 バイポーラ集積回路におけるバイアス回路
7.2 バイポーラアナログ増幅回路
7.3 レベルシフト回路
7.4 バイポーラ電力増幅回路
7.5 MOSアナログ回路
  7.5.1 MOSE/E増幅回路
  7.5.2 スイッチトキャパシタ
演習問題
8. 集積回路の設計
──集積回路の設計に計算機はなぜ必要か──
8.1 マスク設計
  8.1.1 MOS電界効果トランジスタのゲートの形状寸法の設計
  8.1.2 設計規則
  8.1.3 nMOSE/Dインバータのパターンの設計
8.2 集積回路の計算機支援設計
8.3 集積回路の自動設計
演習問題
文献
演習問題解答
索引

菅野 卓雄(スガノ タクオ)