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真空科学ハンドブック

真空科学ハンドブック

真空の基礎科学から作成・計測・保持する技術に関わる科学的基礎を解説。また,成膜,プラズマプロセスなどの応用分野で真空環境の役割を説き,極高真空などのこれまでにない真空環境が要求される研究・応用への取組みなどを紹介。

発行年月日
2018/03/30
定価
22,000(本体20,000円+税)
ISBN
978-4-339-00908-8
在庫あり

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